氣密密封包裝內氣體分析儀 ESCO-TDS1200II IR PKG（TDS 連結型）
ESCO-TDS1200II IR PKG（TDS 連結型）特點
本裝置配備了連接於 ESCO-TDS1200II IR 主機上的 IVA 功能。
透過 IVA* 功能，可測量封裝於陶瓷、金屬、玻璃等材料內的微型元件內部，以水蒸氣為首的各種氣體含量。
主要適用對象為化合物半導體、雷射二極體、石英振盪器、SAW 濾波器等電子元件及各類燈具。
氣體檢測部採用與 ESCO-TDS1200II IR 共通的模組。
例如，可支援整套製程流程，例如：利用TDS功能評估半導體製造前端製程所使用的薄膜材料，並利用IVA功能分析後端製程封裝後元件內部所含的氣體。
IVA : Internal Vapor Analysis
