大修服務
針對已導入本裝置的用戶，我們承接維護及大修委託業務。
請參閱下列項目說明。
No.001 事前調查
| 實施時期 | 每年 |
|---|---|
| 標準作業時間 | 4.0小時 |
| 使用・更換零件 | 檢測用樣品一式 |
| 備註 | 執行裝置現況檢測。 |
No.002 紅外線燈泡更換
| 實施時期 | 每年 |
|---|---|
| 標準作業時間 | 0.5小時 |
| 使用・交換零件 | 紅外線燈［1］ |
| 備註 | 依裝置規格不同，使用零件亦有所差異。 |
No.003 前線捕集元件更換
| 實施時期 | 每年 |
|---|---|
| 標準作業時間 | 0.5小時 |
| 使用・更換零件 | 元件：20-H026-00-050［1罐］ |
| 備註 | 依裝置規格不同，使用零件亦有所差異。 |
No.004 迴轉泵油品更換
| 實施時期 | 每6個月 |
|---|---|
| 標準作業時間 | 2.0小時 |
| 使用・更換零件 | 旋轉泵油 |
| 備註 | 依裝置規格與製造商不同，使用零件亦有所差異。 |
No.005 加熱樣品台更換
| 實施時期 | 每年 |
|---|---|
| 標準作業時間 | 2.0小時 |
| 使用・更換零件 | 石英載物台、熱電偶、ICF墊片 |
| 備註 | 依裝置規格不同，使用零件亦有所差異。 |
No.006 加熱腔體內部清潔
| 實施時期 | 每年 |
|---|---|
| 標準作業時間 | 0.5小時 |
| 使用・更換零件 | ICF墊圈 |
No.007 載物鎖定室內部清潔
| 實施時機 | 每兩年一次 |
|---|---|
| 標準作業時間 | 3.0小時 |
| 使用・交換零件 | ICF墊圈 |
No.008 樣品移載機構板彈簧更換
| 實施時期 | 每兩年一次 |
|---|---|
| 標準作業時間 | 1.0小時 |
| 使用・交換零件 | 板彈簧、墊片 |
No.009 紅外線導入機構部研磨
| 實施時期 | 每兩年一次（依機構部污染狀況調整） |
|---|---|
| 標準作業時間 | 1.0小時 |
| 使用・更換零件 | 墊片 |
No.010 TMP（2）軸承更換
| 實施時期 | 每3年一次 |
|---|---|
| 標準作業時間 | 3.0小時 |
| 使用・交換零件 | 軸承、墊片 |
| 備註 | 依裝置規格不同，使用零件亦有所差異。 |
No.011 油霧過濾器更換
| 實施時機 | 每4年（依污染狀況調整） |
|---|---|
| 標準作業時間 | 0.5小時 |
| 使用・更換零件 | 濾芯 |
No.012 閘閥更換
| 實施週期 | 每4年 |
|---|---|
| 標準作業時間 | 4.0小時 |
| 使用・更換零件 | 閘閥、墊片 |
| 備註 | 依裝置使用頻率而定。 |
No.013 旋轉泵更換
| 實施時期 | 每5年 |
|---|---|
| 標準作業時間 | 2.0小時 |
| 使用・更換零件 | 旋轉泵、防震橡膠 |
No.014 QMS分解能・質量軸調整
| 實施時期 | 每年 |
|---|---|
| 標準作業時間 | 2.0小時 |
| 使用・交換零件 | 調整用標準氣體 |
No.015 QMS離子源更換
| 實施時期 | 每兩年（依污染狀況調整） |
|---|---|
| 標準作業時間 | 2.0小時 |
| 使用・更換零件 | 離子源、 墊圈 |
No.016 真空啟動・烘烤套件
| 實施時期 | 每年 |
|---|---|
| 標準作業時間 | 2.0小時 |
No.017 大修後性能確認
| 實施時期 | 每年 |
|---|---|
| 標準作業時間 | 5.0小時 |
| 使用・更換零件 | 檢驗用樣品一式 |
| 備註 | 進行維護時，務必執行此項目。 |
No.018 QMS檢量線專用測量
| 實施時期 | 每月 |
|---|---|
| 標準作業時間 | 1.0小時 |
| 使用・交換零件 | 離子注入晶圓 |
| 備註 | 需於烘烤1日以上後執行。 |
No.019 QMS特性補正用測定
| 實施時期 | 每年 |
|---|---|
| 標準作業時間 | 3.0小時 |
| 使用・交換零件 | 離子注入晶圓（各種類型） |
| 備註 | 需於烘烤1日以上後執行。 |
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