−裝置啟動方法−

裝置啟動

❶進行事前確認。
・漏電斷路器處於OFF狀態。
・已供應壓縮空氣。(0.01～0.02 MPa)
・RP1開關處於OFF狀態。

❷將裝置背面的斷路器轉至ON位置。

❸按下裝置正面面板上的RESET開關。

啟動主腔室排氣系統

❶進行事前確認。
・主腔室已關閉，且儀器安裝正確。
・主腔室排氣閥處於關閉狀態。
・AUTO / MANUAL開關設定為MANUAL。
・MV、VV、RV、GV開關均設定為CLOSE。
・RP1開關處於OFF狀態。
・RP1排氣閥處於關閉狀態。
・排氣用氮氣與閥門驅動用壓縮空氣供應正常（0.01～0.02 MPa）
・主腔室壓力高於大氣壓。

❷按下RP1的ON開關啟動RP1。

❸按下BV1的OPEN開關，對主腔室進行粗抽真空。
等待排氣聲響減弱至無聲。（約1分鐘）

❹按下TMP1控制器的START開關啟動TMP1。
等待TMP1進入正常運轉狀態。（約10分鐘）

❺按下真空計的ON開關供電，再按IG1開關點亮燈絲。

❻開啟氮氣吹掃閥，向TMP1供應吹掃用氮氣。

❼等待主腔室壓力降至1E-5 Pa以下，再開啟質譜儀電源。

載入鎖定室排氣系統啟動程序

❶執行事前確認。
・樣品導入口已關閉，且儀器安裝正確。
・AUTO / MANUAL開關設定為MANUAL。
・MV、VV、RV、GV開關均處於CLOSE狀態。
・RP2開關處於OFF狀態。
・氮氣（排氣用氣體）與壓縮空氣（閥門驅動用）供應正常。
・RP2排氣閥及TMP2排氣閥均處於關閉狀態。

❷按下RP2的ON開關啟動RP2，開始TMP2背側的排氣程序。
等待排氣聲響減弱至無聲。
※此時BV2將自動開啟，並向TMP2控制器供電。

❸按下TMP2控制器的START開關啟動TMP2。
等待系統進入正常運轉狀態。（約需10分鐘）

❹將RV開關設為OPEN，開始粗抽真空。
等待載物鎖粗抽真空完成。（約5分鐘）

❺將RV開關設為CLOSE，關閉RV。

❻將MV開關設為OPEN，開啟主閥門，開始透過TMP2進行排氣。

備註
RP1：旋轉式泵浦1
BV1：背壓閥1
TMP1：渦輪分子泵浦1
RP2：旋轉式泵浦2
BV2：背壓閥2
TMP2：渦輪分子泵浦2
RV：迴轉泵
MV：主閥

按壓式開關（凹陷、亮燈）及撥動開關（上）代表ON或OPEN狀態。
按壓式開關（凸起、熄燈）及撥動開關（下）代表OFF或CLOSE狀態。

−裝置停止操作手順−

主腔室排氣系統停止程序

❶先透過TDS測量軟體或燈絲管理器關閉質譜儀燈絲及SEM，再將電源開關設為OFF。

❷關閉真空計IG1並切斷電源。

❸按下TMP1控制器之STOP開關，停止TMP1運作。

❹按下BV1之CLOSE開關關閉背壓閥。

❺等待約30分鐘直至TMP1完全停止運轉。
請透過視鏡確認葉片已停止轉動。

❻按下RP1的OFF開關，停止RP1運作。

❼開啟RP1排氣閥，將RP1進氣端進行氮氣排氣。
待流量計浮球下降後，關閉RP1排氣閥。

主腔室大氣開放

❶將標準氣體・氮氣切換閥（黑色旋鈕）尖端朝向下方（氮氣管線側）。

❷開啟主腔室排氣閥，進行氮氣排氣。
當氮氣流入主腔室時，氮氣流量計的浮子將隨之移動。

❸待氮氣流量計浮子下降後，關閉主腔室排氣閥。

❹關閉氮氣吹掃閥，停止向TMP1供應吹掃用氮氣。

主腔室排氣系統停止操作

❶將AUTO/MANUAL開關切換至MANUAL位置。

❷將MV開關置於OPEN位置，開啟主閥門，啟動TMP2排氣程序。

❸將VV開關置於OPEN位置，對鎖定腔室進行氮氣排氣。
當氮氣流入載荷鎖定腔室時，氮氣流量計的浮子將隨之移動。

❹將VV開關設為CLOSE，關閉VV閥門。

❺按下TMP2控制器的STOP開關，等待約10分鐘直至TMP2停止運作。

❻按下RP2的OFF開關，停止RP2運作。
此時TMP2控制器電源將自動關閉，液晶螢幕顯示warning警告訊息。
※即使關閉電源，渦輪分子泵控制器的液晶畫面仍會在旋轉停止後持續顯示約10分鐘。

❼開啟RP2排氣閥，將RP2進氣側進行氮氣排氣。
待氮氣流量計浮球下降後關閉RP2排氣閥。

裝置停止

❶將裝置背面的斷路器切換至OFF位置。

備註

RP1：旋轉泵1
BV1：背壓閥1
TMP1：渦輪分子泵1
RP2：旋轉泵2
BV2：背壓閥2
TMP2：渦輪分子泵2
RV：旋轉泵
MV：主閥

按壓開關（凹陷、點亮）或撥動開關（上）表示ON或OPEN狀態。
按壓開關（凸起、熄滅）或撥動開關（下）表示OFF或CLOSE狀態。