含有易昇華金屬（蒸氣壓較高的金屬）的樣本。
若使大量金屬昇華，會附著於QMS分析管、真空計及觀察窗上，恐導致性能下降或故障。

此外，金屬也會附著於腔室內壁及零件上，導致腔室表面潔淨度下降，並增加脫氣量。
此情況下，需進行腔室內壁清潔或更換零件。
蒸氣壓較高的Zn和Mg在低溫下即會昇華，因此需特別注意。

蒸氣壓較高的金屬範例（Zn、Mg、Pb、In、Mn、Ga、Ag、Sn、Al、Cu等）
含有鹵素的樣本。
當含有鹵素（尤其是氟）的成分脫離時，鹵素便會殘留於主腔室或檢測器內。
含有有機化合物的樣本。
若將大量有機化合物加熱至分解溫度以上，會發生熱分解，分解產物會飛散並污染主腔室及檢測器。
此時需對主腔室進行烘烤、清潔，並更換零件。
會釋放大量氣體的樣本
即使樣品所含成分不會污染設備，但若釋放出的氣體量超過渦輪分子泵或QMS的允許壓力，仍可能導致渦輪分子泵或QMS發生故障。


若需檢測可能受污染的樣品，建議先進行預測。
・降低升溫速率。（約每分鐘 10℃）
・設定為 Bar 模式或 Scan 模式。
・盡量減少樣品量。
・若檢測到上述成分，請勿再提高溫度。