含易昇華金屬（蒸氣壓高金屬）之樣品。
若大量昇華金屬，可能沉積於QMS分析管、真空計及視窗，導致性能劣化或故障風險。

此外，蒸氣亦會沉積於腔室內壁及零件表面，導致腔室表面潔淨度下降並增加脫氣量。
此情況下需執行腔室內壁清潔或零件更換作業。
需特別注意蒸氣壓較高的鋅(Zn)與鎂(Mg)，因其在低溫下即會昇華。

高蒸氣壓金屬範例（Zn、Mg、Pb、In、Mn、Ga、Ag、Sn、Al、Cu等）
含鹵素樣品。
當含鹵素（特別是氟）的成分脫離時，鹵素會滯留於主腔室或偵測器內。
含有機化合物的樣品。
當大量有機化合物被加熱至分解溫度以上時，會發生熱分解，導致分解產物飛散並污染主腔室及檢測器。
此時需執行主腔室烘烤、清潔作業，或更換零件。
釋放大量氣體之樣品
即使成分不具污染性，若樣品釋放之氣體量超過渦輪分子泵或QMS之容許壓力，仍可能導致設備故障。


建議對可能造成污染的樣品進行預測量。
・降低升溫速率（約每分鐘10℃）
・採用Bar模式或Scan模式
・盡量減少樣品用量
・若檢測到上述成分，請勿繼續升溫