−烘烤−

隔熱套裝設

❶透過軟體關閉質譜儀（QMS）的SEM及燈絲功能。

❷按下QMS電源開關關閉儀器電源。

❸拔除連接至QMS控制器的電源線與通訊線。

❹使用六角扳手鬆開固定螺絲，拆卸QMS控制器。

❺確認溫度感測器的安裝狀態。

❻於各觀測孔安裝保護蓋。

❼卸除頂部熱電偶導入端子連接器。

❽安裝隔熱罩。
隔熱罩分為主腔室部與樣品移載機構部兩部分。
主腔室部隔熱罩需從裝置前方覆蓋安裝，並以後側及上方的魔鬼氈固定。
後側區域佈有主腔室真空計感測器（IG）及渦輪分子泵，間隙較小，請謹慎安裝。

烘烤控制器設定

❶於烘烤計時器設定烘烤時間。

❷開啟烘烤控制器電源斷路器。

❸按下重置啟動開關。
按下重置啟動開關後，指示燈將點亮，同時為烘焙用溫度調節器與烘焙計時器供電，並重置過熱顯示燈。

完成上述操作後即開始烘焙程序，系統將加熱至溫度調節器設定值。
當計時器達設定時間後，將切斷加熱器供電。

烘烤用溫度調節器操作說明

❶按下溫度顯示切換鍵，可在主腔室當前溫度與設定溫度顯示間切換。

❷於設定溫度顯示狀態下，按下設定鍵（上鍵）（下鍵）即可變更設定值。

❸使用溫度顯示切換鍵確認設定值，並切回顯示當前溫度。

烘烤後處理步驟

❶待溫度降至接近室溫後，關閉烘烤控制器電源斷路器。

❷卸除隔熱罩，裝回QMS控制器並完成接線，將各部件復位至原始狀態。

迴轉泵油品更換程序

❶依照操作手冊停止設備運作。

❷確認旋轉泵(RP)本體已冷卻。

❸卸除RP固定用（4處）螺帽、快速夾具、金屬連接器及溫度保險絲，將RP從機殼卸下。

❹開啟機油注入口。

❺處理排油口以防漏油，隨後開啟排油口。請注意機油將急速流出。

❻待機油完全排盡後，關閉排油口。

❼透過注油口注入規定量機油。

❽關閉注油口，依逆向步驟組裝回原位。

注意事項

●廢油可能混有高毒性物質，更換時請配戴防護眼鏡及耐油耐藥品手套。
●為防止RP降下時機油四處飛濺，請於地面鋪設防護墊。
●RP停止運轉後，機油可能仍處於高溫狀態，有燙傷風險。
●機油廢棄處理請依規定程序執行。
●嚴禁使用非本公司供應之機油或非原廠指定機油。
●本品屬重物，操作時請注意防止墜落。
●更換作業請由熟悉流程之人員執行。