TDS1200 及 EMD-WA1000S/W 的維護
−烘烤−
安裝隔熱套
❶透過軟體將質譜儀（QMS）的SEM及發熱絲設為關閉。
❷按下 QMS 的電源開關，將 QMS 電源關閉。
❸拔除連接至 QMS 控制器的電源線與通訊線。
❹使用六角扳手鬆開固定螺絲，拆下 QMS 控制器。
❺確認溫度感測器的安裝狀態。
❻將保護蓋安裝至各觀察窗。
❼拆下上部熱電偶導入端子連接器。
隔熱套❽安裝隔熱套。
隔熱套分為主腔室部分與樣品轉運機構部分兩類。
主腔室部分的隔熱套，應從裝置前側覆蓋式安裝，並利用後側與上方的魔鬼氈固定。
後側配置有主腔室真空計感測器（IG）及渦輪分子泵，因空間狹窄，請謹慎安裝。
烘烤控制器設定
❶透過烘烤計時器設定烘烤時間。
❷將烘烤控制器電源開關切換至「ON」位置。
❸按下重置啟動開關。
按下重置啟動開關後，指示燈將亮起，並向烘焙用溫度控制器及烘焙計時器供電，同時重置過熱指示燈。
完成上述操作後，烘焙程序即開始，並將加熱至溫度控制器設定的溫度。
當達到計時器設定的時間時，加熱器的供電將被切斷。
烘焙用溫度調節器的操作
❶按下溫度顯示切換鍵，可在主腔室的當前溫度與設定溫度顯示之間切換。
❷在顯示設定溫度時，按下設定鍵（上）（下）來變更設定。
❸按下溫度顯示切換鍵以確定設定，並顯示當前溫度。
烘烤後的處理
❶等待溫度降至接近室溫後，將烘烤控制器電源開關切換至OFF。
❷拆下隔熱套，安裝 QMS 控制器並進行接線，將各部件恢復原狀。
旋轉泵換油步驟
❶依照手冊指示，停止設備運作。
❷確認旋轉泵（RP）本體已冷卻。
❸拆下 RP 固定用（4 處）螺母、快速夾具、金屬連接器及溫度保險絲，將 RP 從機殼上卸下。
❹打開注油口。
❺為防止機油溢出，請做好機油排放口的防護措施，並開啟排放閥。請注意機油會猛烈噴出。
❻待機油完全排空後，請關閉機油排放閥。
❼從機油加注口加入規定量的機油。
❽關閉機油加注口，並按相反步驟進行組裝。
注意事項
●由於廢機油中可能摻雜高毒性物質，更換時請務必配戴護目鏡及耐油耐化學品手套。
●為避免在降下 RP 時機油濺灑至周圍，請在地面鋪設防護墊。
●RP剛停止運轉時，機油可能仍處於高溫狀態，有燙傷之虞。
●請妥善處理廢棄機油。
●除本公司提供的機油或原廠正品機油外，請絕對勿使用其他機油。
●因屬重物，作業時請注意防止掉落。
●請由熟悉更換作業的人員進行更換。
