電子科學的 TDS 委託分析服務:將設備製造商的專業知識融入貴公司實驗室的高階分析支援
電子科學(ESCO)的 TDS 委託分析,絕非單純的代測服務。
自1990年推出TDS(升溫脫附氣相分析儀)商用機型以來,我們始終致力於**「捕捉材料的真實面貌」**,是此領域的先驅。
敬請善用唯有設備製造商才能提供的「最新測量技術」與「對材料的深刻理解」,以加速貴公司的研發進程。
1.設備採購與TDS委託分析的「雙贏」關係

「購買設備,還是委託分析?」——我們並不認為這兩個選項是相互取捨的。
我們將委託分析與設備導入視為「串聯研發各階段的合作夥伴關係」。
導入前的技術驗證(PoC):
透過委託分析確認「使用貴公司的樣本能觀察到什麼」。在您充分理解並認可後再導入設備,藉此避免設備投資出現不匹配的情況。
進階分析的備份:
日常分析將使用本公司設備進行,僅在需要更嚴苛條件(如矽的精密溫度測量、超高溫、極低溫等)時,才會將ESCO的尖端設備作為「第二實驗室」加以運用。
分享技術更新:
我們將在受託分析現場所發現的課題,反饋至儀器開發過程中。透過受託分析服務,客戶得以隨時接觸全球最尖端的測量解決方案。
2.4項TDS技術:針對各項挑戰提供最佳解決方案
委託分析的示意圖
ESCO 針對委託分析業務,提供四款 TDS 機型,涵蓋範圍從半導體及 FPD 產業的標準工具,到學術研究級別的高階分析皆能應對。
委託分析TDS比較表 ※若您使用智慧型手機瀏覽,請將手機橫向放置。
| 設備名稱 | 測量特點 | 溫度範圍 | 應用優勢 |
|---|---|---|---|
| TDS1200II IR | 業界的事實標準 | 室溫〜1200℃ | 【擁有壓倒性實績的支柱】 自1990年首代機型問世以來,半導體薄膜製程及FPD材料的評估標準,持續為全球各現場提供支援。 |
| TDS1200II IR BGM | 矽片溫度高精度測量 | 室溫 〜 1200℃
在 75℃ 至 500℃ 範圍內,透過 BGM 進行高精度溫度測量 |
【直接決定矽片溫度】 可直接測量極難測量的500℃以下矽溫。能夠精確捕捉最受矚目的水分子吸附與脫附現象。 |
| TDS1700 IH | 超高溫與碳結構分析 | 室溫 〜1700℃ | 【碳網面的精密預測】
透過精確捕捉在超高溫區域釋放的氫氣,得以預測「碳晶格面的平均尺寸」,這是XRD或TEM難以做到的。 |
| TDS-100 Cryo H2 | 質量分析法 低温昇温脱水素分析(L-TDS) | -100℃以下〜500℃ | 【氫脆與延遲斷裂的解析】
從-100℃以下開始測量。將被晶格缺陷(如位錯或空位等)捕獲的氫氣分離出來。 |
3.各裝置所提供的「獨特價值」
■TDS1200II IR 系列:體驗世界級標準
本系列堪稱電子科學的歷史縮影,已成為半導體與顯示器產業的「共通語言」。透過委託分析所獲得的數據,可直接作為業界標準的評估基準加以運用,並確保未來引進設備時能順利進行技術傳承。
■TDS1200II IR BGM:為矽製程提供「精準的溫度基準」
在真空環境中精確測量矽溫,在物理上曾是極高的難關。搭載最新BGM技術的機型,不再僅是測量設備的控制溫度,而是直接測量「樣品的真實溫度」。這些克服了材料特有物理難題的高精度數據,將使次世代裝置的開發精度獲得飛躍性的提升。
■TDS1700 IH:透過超高溫分析釐清碳結構
碳材料的特性取決於其碳網面的大小。透過最高達 1700℃ 的精密升溫分析,可定量測定結合於碳邊緣(邊緣)的氫。
●平均結構的定量化:預測具有統計上高可靠性的、代表整體材料「平均碳網面尺寸」,並能強力輔助 XRD 等結構分析。
●製程優化:透過高溫下的氫釋放行為,可詳細評估熱處理製程對材料結構的影響。
■TDS-100 Cryo H2:克服氫脆化(延遲破壞)
要釐清氫脆化機制,從 -100℃ 以下的極低溫區域進行精密分析是不可或缺的。
ESCO 善用「質譜分析法(真空型)」的優勢,提供能掌握物理本質的分析服務。
●實現高分離度的「薄片測定」之必要性:要精確分離氫捕獲位點,將試樣加工成薄片是不可或缺的。若試樣過厚,從捕獲位點釋放出的氫氣需耗費較長時間方能抵達表面,可說會先經過暫時積聚於試樣厚度(即**「水壩」**)的過程,隨後才釋放出來。
其結果導致各峰值重疊,無法進行精確分離。
● 低背景輻射下的微量檢測:雖然試樣變薄後氫氣量自然會減少,但憑藉本公司質譜分析法(真空型)獨有的低背景輻射環境,即使微量的氫氣釋放也不會被雜訊淹沒,仍能確切地檢測出來。
●精確計算活化能:憑藉高速的檢測速度,能精準捕捉峰值溫度。藉此,即可精確計算出氫氣釋放的活化能。
4.從分析到導入的階段性模型
我們是一家始終陪伴客戶成長與成功的「伴跑型」製造商。
第一階段:透過委託分析探索可能性
即使只有一個樣本也歡迎。我們將從四種機型中選擇最適切的方法,並由專業人員為您解讀數據的「真意」。
第二階段:加速研發
靈活運用多種儀器,獲取多角度的實證數據。請將我們的研發環境,視為貴公司的衛星實驗室來活用。
第三階段:優化自主運作與持續支援
當分析頻率增加時,即可導入設備。導入後,針對貴公司自有設備無法應對的特殊測量條件(如超高溫等),ESCO的委託服務將持續提供支援,確保貴公司的研究不中斷。
『答案就在釋放出的氣體之中。何不透過ESCO的技術,與我們共同找出這個答案呢?』
委託分析相關諮詢
我們將根據檢測對象及課題內容,為您提供最適切的分析條件建議。
歡迎先透過下方的委託分析諮詢表單與我們聯繫。
