關於分析方法
升溫脫離法
本文件為昇溫脫離法解析所用之脫離模型及活化能計算方法之參考資料。
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| 標題 | ⇒目錄 (pdf/159KB) |
|---|---|
| 第1章 | ⇒前言、符號表 (pdf/225KB) |
| 第2章 | ⇒升溫脫離分析中脫離速率與分壓之關係 (pdf/288KB) |
| 第3章 | ⇒表面反應中脫離速率的計算 (pdf/635KB) |
| 第4章 | ⇒脫離反應的活化能計算方法 (pdf/1105KB) |
| 第5章 | ⇒薄膜脫離速率之計算 (pdf/1582KB) |
| 第6章 | ⇒升溫脫離信號的模擬 (pdf/1219KB) |
| 參考文獻 | ⇒參考文獻 (pdf/174KB) |
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