ESCO-TDS1700 IH 的啟動與停止
裝置本體的啟動
❶將電源斷路器切至 ON
將裝置背面下方的電源斷路器切至 ON 位置。
啟動按鈕❷啟動
按下觸控面板上的「Start Up」按鈕。
系統將等待各感測器反應 10 秒，若無異常，畫面將切換至「啟動・停止」頁面。
觸控面板❸啟動
請按住觸控面板上的「啟動」按鈕 3 秒鐘。
透過裝置內部之PLC（可程式邏輯控制器），啟動序列將開始執行，各真空泵及各閥門將透過自動控制運作。
當主腔室的訊息顯示為「正常運作」時，即表示主腔室的啟動已完成。
當載入鎖腔室的訊息顯示為「正常運作」時，即表示載入鎖腔室的啟動已完成。
 注意 |
進行啟動操作前，請務必確認電源、氮氣及壓縮空氣的供應狀況。 |
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停止裝置本體
❶關閉 QMS 線材
透過 TDS 測量軟體或線材管理員，將 QMS 的線材設為關閉，並將 SEM 設為關閉。
❷停止
長按觸控面板「啟動／停止」分頁中的「停止」按鈕 3 秒。
透過裝置內部的 PLC（可程式邏輯控制器），將啟動停止程序，並自動控制各真空泵及各閥門。
當主腔室的訊息顯示為「停止」時，即表示主腔室的停止程序已完成。
當載入鎖腔室的訊息顯示為「停止」時，即表示載入鎖腔室的停止程序已完成。
| 備註 | TMP1 完全停止運作需耗時 20 分鐘以上。 |
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| 停止程序開始後，QMS 的電源將關閉。 |
❸將電源斷路器切至OFF
若要切斷裝置電源，請將背面下側面板的電源斷路器切至OFF。
將電源斷路器切至OFF後，觸控面板與PLC的電源亦會被切斷。
| 備註 | 將電源斷路器切換至OFF時，IH溫度控制的PID值將會被初始化。 此外還有其他數值也會被初始化。 |
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