裝置本體啟動步驟

❶電源斷路器ON
將裝置背面下面板的電源斷路器切換至ON位置。

❷啟動程序
按下觸控面板上的「Start Up」按鈕。
系統將等待各類感測器反應10秒鐘，若無異常則切換至「啟動・停止」頁面。

❸啟動
長按觸控面板「啟動」按鈕3秒。
裝置內部的PLC（可編程邏輯控制器）將啟動啟動序列，各真空泵與閥門將透過自動控制運作。
當主腔室訊息顯示「正常運作」時，即表示主腔室啟動完成。
當裝載鎖定腔室訊息顯示「正常運作」時，即表示裝載鎖定腔室啟動完成。

注意事項	啟動操作前，務必確認電源、氮氣及壓縮空氣供應狀態。

裝置本體停止操作

❶關閉QMS鎢絲
透過TDS測量軟體或鎢絲管理器，將QMS的鎢絲關閉，並關閉SEM。

❷停止
長按觸控面板啟動/停止標籤頁的「停止」按鈕3秒。
裝置內部的PLC（可程式邏輯控制器）將啟動停止程序，自動控制各真空泵與閥門。
當主腔室訊息顯示「停止」時，即表示主腔室停止程序完成。
當載物鎖訊息顯示「停止」時，即表示載物鎖腔室停止程序完成。

備註欄	TMP1完全停止需耗時20分鐘以上。
	啟動停止程序後，QMS電源將關閉。

❸關閉電源斷路器
若需切斷裝置電源，請將機體背面下方的電源斷路器切至OFF位置。
關閉電源斷路器後，觸控面板與PLC的電源亦將同步切斷。

注意事項	關閉電源斷路器後，IH溫度控制的PID參數值將被初始化。 另有其他數值亦會被初始化。