問題處理
洛克腔的真空度無法提升。
若用手按壓樣品更換窗時真空度會發生變化，則可能是樣品更換窗的O型環附著了雜質。
請清除O型環上的雜質。
若樣品逸散量過大，真空度亦無法提升。
負載鎖的真空計未顯示讀數。
負載鎖腔室內的氮氣量過少，導致真空計難以發生放電。
請執行以下步驟。
1.將[AUTO/MANU]切換開關設為MANU。
2.將[MV]開關設為CLOSE。
3. 將 [VV] 開關切換至 OPEN，等待 5 秒後切換回 CLOSE。
4. 將 [RV] 開關切換至 OPEN。
5. 當皮拉尼真空開關背面的紅色 LED 亮起時，將 [RV] 開關切換回 CLOSE。
6. 按下彭寧真空計控制器上的 [HV] 開關。
7. 出現真空讀數後，將 [MV] 切換至 OPEN 位置。
8. 按下 [AUTO RESET] 開關，並將 [AUTO/MANU] 開關切換至 AUTO 位置。
之後請依照常規啟動程序進行操作。
AUTO 指示燈未亮起。
請執行以下步驟。
1. 將 [AUTO/MANU] 切換開關設為 MANU。
2. 將 [MV] 開關設為 CLOSE。
3. 將 [RV] 開關設為 OPEN。
4. 當皮拉尼真空開關背面的紅色 LED 亮起時，將 [RV] 開關設為 CLOSE。
5. 將 [RV] 開關設為 CLOSE。
6. 出現真空顯示後，將 [MV] 切換至 OPEN 位置。
7. 按下 [AUTO RESET] 開關，並將 [AUTO/MANU] 開關切換至 AUTO 位置。
之後請依照一般程序使用。
MV 指示燈未亮起。
請執行以下步驟。
1. 將 [AUTO/MANU] 切換開關設為 MANU。
2. 將 [MV] 開關設為 CLOSE。
3. 將 [RV] 開關設為 OPEN。
4. 當皮拉尼真空開關背面的紅色 LED 亮起時，將 [RV] 開關設為 CLOSE。
5. 將 [RV] 開關設為 CLOSE。
6. 當顯示真空狀態時，將 [MV] 切換至 OPEN 位置。
7. 按下 [AUTO RESET] 開關，並將 [AUTO/MANU] 開關切換至 AUTO 位置。
之後請依照一般程序使用。
樣品已掉入 TDS 的主腔室中
若為無氣體釋放的樣品（例如已升溫至高溫的樣品等），請於大修時一併處理。此情況不會影響測量結果。
若樣品掉落後抽真空效果不佳，或在載物台烘烤時出現異常訊號，請立即移除掉落的樣品。
TDS 主腔室的真空度無法提升。
請進行約 30 秒的脫氣，以清潔真空計。
若仍無法恢復，則需對腔室進行烘烤或清潔。
在吹掃過程中，粉體樣品發生飛散。
必須拆卸並清潔裝載鎖定室。若置之不理，粉體可能附著於各類閥門上，導致洩漏。
WA1000S、WA1000S/W 可增設粉體樣品專用的吹掃管路。
或者，可將吹掃管路依序連接至吹掃閥→針閥，並透過針閥調節吹掃流量，藉此避免粉體飛散並完成吹掃。
紅外線控制器無法開機。
請確認冷卻水的水壓或流量是否不足。
保險絲可能已熔斷。若屬此情況，需更換保險絲（15A）及紅外線燈管。
雖然最終真空度良好，但抽真空效果不佳。
可能是旋轉式真空泵的性能已下降。
請進行更換機油等維護作業。
更換機油的頻率建議為每年一次，但根據逸出氣體的種類與量，也可能導致機油提早劣化。
雖然已停止裝置運作，但是否仍應進行烘烤？
建議進行 12 小時以上的烘烤。
烘烤時，Q-Mass 將處於關閉（電源關閉）狀態，因此請在烘烤完成並點亮 Q-Mass 的燈管後，等待 3 小時以上再進行測量。
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