載物鎖定室真空度無法提升。
若以手按壓樣品交換窗時真空度會產生變化，則可能是樣品交換窗的O型環附著異物所致。
請清除O型環上的異物。
樣品脫落量過多時亦會導致真空度無法提升。

載入鎖定真空計未顯示讀數。
載入鎖定腔室內氮氣量不足，導致真空計放電條件未達標。
請執行以下步驟：
1.將[AUTO/MANU]切換開關置於MANU位置。
2.將[MV]開關置於CLOSE位置。
3.將[VV]開關置於OPEN位置，5秒後切換至CLOSE。
4.將[RV]開關置於OPEN位置。
5.當皮拉尼真空開關背面的紅色LED亮起時，將[RV]開關轉至CLOSE位置。
6.按下彭寧真空計控制器的[HV]開關。
7.真空值顯示後，將[MV]開關轉至OPEN位置。
8.按下[AUTO RESET]開關，將[AUTO/MANU]開關轉至AUTO位置。

後續請依常規啟動程序操作。

AUTO指示燈未亮起。
請執行下列步驟：
1.將[AUTO/MANU]切換開關設為MANU。
2.將[MV]開關設為CLOSE。
3.將[RV]開關設為OPEN。
4.當皮拉尼真空開關背面紅色LED亮起時，將[RV]開關設為CLOSE。
5.將[RV]開關設為CLOSE。
6.出現真空顯示後，將[MV]設為OPEN。
7.按下[AUTO RESET]開關，將[AUTO/MANU]開關設為AUTO。

後續請依常規程序操作。

MV指示燈未亮起。
請執行下列步驟：
1.將[AUTO/MANU]切換開關設為MANU。
2.將[MV]開關設為CLOSE。
3.將[RV]開關設為OPEN。
4.當皮拉尼真空開關背面紅色LED亮起時，將[RV]開關設為CLOSE。
5.將[RV]開關設為CLOSE。
6. 真空數值顯示後，將[MV]開關設為OPEN。
7. 按下[AUTO RESET]開關，將[AUTO/MANU]開關設為AUTO。

後續請依常規程序操作。

樣品已墜落至TDS主腔室
若為無脫氣樣品（例如已升溫至高溫之樣品），請於大修時一併拾取。此情況不影響測量結果。
若樣品墜落後出現抽真空不良、或平台烘烤時產生異常訊號，請立即清除墜落樣品。

TDS主腔室真空度無法提升。
請執行約30秒脫氣程序以清潔真空計。
若仍無法恢復，需執行腔室烘烤或清潔程序。

粉末樣品於吹掃時飛散。
需拆卸清洗載物鎖定腔室。若放任不管，粉體可能附著於閥門類部件，導致洩漏風險。
WA1000S、WA1000S/W型號可增設專用粉體樣品吹掃管線。
或將吹掃管線依序連接吹掃閥→針閥，透過針閥調節吹掃流量，即可實現無飛散吹掃。

紅外線控制器無法啟動電源。
請確認冷卻水水壓或流量是否不足。
保險絲可能已熔斷。此時需更換保險絲(15A)及紅外線燈管。

雖能達到良好真空度，但抽真空效果不佳。
可能是迴轉泵性能劣化所致。
請執行換油等維護作業。
換油週期以每年一次為基準，但若脫離氣體種類或量較多，可能加速劣化。

設備已停止運作，是否需要進行烘烤處理？
建議執行12小時以上的烘烤程序。
烘烤期間需將Q-Mass關閉（斷電），故烘烤完成後，請待Q-Mass燈絲點亮至少3小時後再進行測量。