電子科学株式会社

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PMMA實驗數據

為驗證裝置原理,我們執行了PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯、壓克力)的光脫離實驗。此處需確認的是:樣品吸收光線後,不同波長會導致不同成分脫離。

圖1呈現PMMA薄膜於室溫下的光脫離數據。
可觀察到甲基與乙基分別於170nm及210nm波長處發生脫離現象。


 圖1 PMMA薄膜室溫光脫離數據

圖2為同款PMMA薄膜於室溫下的光脫離數據,比較三組樣本間隔數日測量時質量數29的變化。
因各次測量間調整了質譜儀的信號增益率,且樣本製備程序不同,導致微弱信號出現偏差。


 圖2 PMMA薄膜隨時間變化之狀態

圖3同樣呈現PMMA薄膜於室溫下的光脫離數據。此數據係將單一樣本置於超高真空環境中靜置,反覆執行光脫離實驗所得。僅首次實驗數據呈現不同訊號形態。 此外,光脫離測定後測得PMMA薄膜厚度,發現單次光脫離測定會導致薄膜厚度減少4nm。 由此可推斷:首次數據反映受大氣影響的PMMA薄膜狀態,第二次及後續數據則呈現純粹PMMA薄膜的特性。

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