−烘烤程序−

隔熱外套安裝步驟

❶透過軟體關閉質譜儀（QMS）的SEM及燈絲功能。

❷從觸控面板關閉QMS電源。

❸拔除連接至QMS控制器的電源線與通訊線。

❹使用六角扳手鬆開固定螺絲，拆卸QMS控制器。

❺確認溫度感測器的安裝狀態。

❻於各觀測孔安裝保護蓋。

❼卸除頂部熱電偶導入端子連接器。

❽安裝隔熱外套。
隔熱外套分為主腔室部與樣品移載機構部兩部分。
主腔室部的隔熱外套需從裝置前側覆蓋安裝，並以後側與上部的魔鬼氈固定。
後側區域配置有主腔室真空計感測器（IG）及渦輪分子泵，間隙較小，安裝時請務必謹慎操作。

烘烤設定

❶透過觸控面板設定烘烤時間或結束日期時間。

❷按下開始按鈕啟動程序。

❸完成上述操作後，烘烤程序即啟動並加熱至設定溫度。

❹達到設定時間或設定日期時，加熱器輸出將自動切斷。

烘烤後處理步驟

❶等待溫度降至接近室溫。

❷卸除隔熱套，裝回QMS控制器並完成接線，將各部件復位至原始狀態。

迴轉泵浦（RP）換油程序
建議每年執行迴轉泵浦換油作業。

❶依操作手冊指示停止設備運作。

❷確認RP主體已冷卻。

❸卸除快速夾具與金屬連接器。

❹開啟注油口。

❺處理排油口以防漏油，隨後開啟排油口。請注意機油將急速流出。

❻待機油完全排盡後，關閉排油口。

❼透過注油口注入規定量機油。

❽關閉注油口，依逆向步驟進行組裝。

注意事項

●使用過的油可能混有高毒性物質，更換時請配戴防護眼鏡及耐油耐藥品手套。
●為避免卸下RP時油液四散，請於地面鋪設防護墊。
●RP停止運轉後，油液可能仍處於高溫狀態，有燙傷風險。
●廢棄油液請進行適當處置。
●嚴禁使用非本公司供應之油品或非原廠純正油品。
●因屬重型物件，作業時請注意防止墜落。
●請由熟悉更換程序之人員執行更換作業。