−装置启动方法−

装置启动

❶进行事前确认。
・漏电断路器处于OFF状态。
・压缩空气已供应完毕。(0.01～0.02 MPa)
・RP1开关处于OFF状态。

❷将设备背面的断路器切换至ON位置。

❸按下设备正面面板上的RESET开关。

主腔室排气系统启动

❶进行事前确认。
・主腔室处于关闭状态，设备安装正确。
・主腔室排气阀处于关闭状态。
・AUTO/MANUAL开关处于MANUAL档位。
・MV、VV、RV、GV开关处于CLOSE位置。
・RP1开关处于OFF状态。
・RP1排气阀处于关闭状态。
・排气用氮气及阀门驱动用压缩空气已供应到位（0.01～0.02 MPa）。
・主腔室压力已达到大气压以上。

❷按下RP1的ON开关启动RP1。

❸按下BV1的OPEN开关对主腔室进行粗抽真空。
等待排气声变小。（约1分钟）

❹按下TMP1控制器的START开关启动TMP1。
等待TMP1进入正常运行状态。（约10分钟）

❺按下真空计ON开关通电，再按IG1开关点亮灯丝。

❻打开氮气吹扫阀，向TMP1供应吹扫用氮气。

❼等待主腔室压力降至1E-5 Pa以下，随后启动质谱仪电源。

负载锁定腔排气系统启动

❶进行事前确认。
・样品导入口已关闭，设备安装正确。
・AUTO/MANUAL开关置于MANUAL档位。
・MV、VV、RV、GV开关处于CLOSE状态。
・RP2开关处于OFF状态。
・氮气（排气用）与压缩空气（阀门驱动用）已接通供应。
・RP2排气阀及TMP2排气阀处于关闭状态。

❷按下RP2的ON开关启动RP2，开始TMP2背侧的排气。
等待排气声变小。
※此时BV2阀将自动开启，为TMP2控制器供电。

❸按下TMP2控制器的START开关启动TMP2。
等待设备进入正常运行状态（约10分钟）。

❹将RV开关置于OPEN位置，开始粗抽真空。
等待载流锁粗抽真空完成。（约5分钟）

❺将RV开关置于CLOSE位置，关闭RV。

❻将MV开关置于OPEN位置，开启主阀门，启动TMP2排气程序。

备注
RP1：旋转泵1
BV1：背压阀1
TMP1：涡轮分子泵1
RP2：旋转泵2
BV2：背压阀2
TMP2：涡轮分子泵2
RV：旋转泵
MV：主阀

按钮开关（凹陷、点亮）及拨动开关（上）表示ON或OPEN状态。
按钮开关（凸起、熄灭）及拨动开关（下）表示OFF或CLOSE状态。

−设备停止方法−

主腔室排气系统停止

❶通过TDS测量软件或灯丝管理器关闭质谱仪的灯丝及SEM后，关闭电源开关。

❷关闭真空计的IG1开关，切断电源。

❸按下TMP1控制器的STOP开关，停止TMP1运行。

❹按下BV1的CLOSE开关关闭背压阀。

❺等待约30分钟直至TMP1完全停止。
请通过观察窗确认叶片已停止转动。

❻按下RP1的OFF开关，停止RP1运行。

❼打开RP1排气阀，对RP1进气侧进行氮气排气。
待流量计浮子下降后，关闭RP1排气阀。

主腔室大气开放

❶将标准气体/氮气切换阀（黑色旋钮）的尖端朝向下方（氮气管路侧）。

❷打开主腔室排气阀，进行氮气排气。
氮气流入主腔室后，氮气流量计浮子将随之移动。

❸氮气流量计浮子下降后，关闭主腔室排气阀。

❹关闭氮气吹扫阀，停止向TMP1供应吹扫用氮气。

主腔室排气系统停止

❶将AUTO/MANUAL开关置于MANUAL档位。

❷将MV开关置于OPEN档位，开启主阀门，启动TMP2排气程序。

❸将VV开关置于OPEN位置，对锁定室进行氮气排气。
当氮气流入载荷锁定室时，氮气流量计的浮子将随之移动。

❹将VV开关置于CLOSE位置，关闭VV阀门。

❺按下TMP2控制器的STOP开关，等待约10分钟直至TMP2完全停止。

❻按下RP2的OFF开关，停止RP2运行。
此时TMP2控制器电源将自动切断，液晶屏显示warning提示。
※涡轮分子泵控制器的液晶显示屏在断电后仍会持续显示约10分钟，直至泵体完全停止旋转。

❼打开RP2排气阀，对RP2进气侧进行氮气排气。
待氮气流量计浮子下降后关闭RP2排气阀。

设备停止

❶将设备背面的断路器切换至OFF位置。

备注

RP1：旋转泵1
BV1：背压阀1
TMP1：涡轮分子泵1
RP2：旋转泵2
BV2：背压阀2
TMP2：涡轮分子泵2
RV：旋转泵
MV：主阀

按钮开关（凹陷、点亮）或拨动开关（上）表示ON或OPEN状态。
按钮开关（凸起、熄灭）或拨动开关（下）表示OFF或CLOSE状态。