解析模拟
1.影响信号形状的因素
活化能、频率因子（振动项）、脱离组分的初始分子数、升温速率等参数会改变信号形状和峰值温度等参数。
这一点可从下述升温脱附法的模型方程式中得到验证。
关于这些方程式的含义，请参阅⇒《第3章 表面反应中脱附速率的计算 (pdf/635KB)》。
一级表面脱附反应
非一级表面脱离反应
扩散脱离
q(T)为脱离速率，ν0为频率因子，D0为振动项，σ0为初始分子数，C0为初始浓度，n为反应级数，d为薄膜厚度，E为活化能，k为玻尔兹曼常数，β为升温速率，T为绝对温度。ψ(T)是积分阿伦尼乌斯方程时导出的级数。
根据这些方程计算的模拟数据如下所示。
此处设ψ(T)=1。
各图的横轴为温度(K)，纵轴为脱离速率(molecs./sec)。
2.活化能差异的影响
一级脱离反应的情况
| A | B | C | D | |
| 活化能（eV） | 1.5 | 2.0 | 2.5 | 3.0 |
| 频率因子（sec-1） | 1E13 | 1E13 | 1E13 | 1E13 |
| 初始分子的数量（molecs./cm2） | 1E15 | 1E15 | 1E15 | 1E15 |
| 升温速率(K/sec) | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
二次脱离反应的情况下
| A | B | C | D | |
| 活化能（eV） | 1.5 | 2.0 | 2.5 | 3.0 |
| 频率因子 （cm2/molesc.sec） | 1E-3 | 1E-3 | 1E-3 | 1E-3 |
| 初始分子的数量（molecs./cm2） | 1E15 | 1E15 | 1E15 | 1E15 |
| 升温速率(K/sec) | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
扩散速率限制的情况
| A | B | C | D | |
| 活化能（eV） | 0.5 | 0.6 | 0.7 | 0.8 |
| 振动项 （cm2/sec） | 1E-1 | 1E-1 | 1E-1 | 1E-1 |
| 初始分子的数量（molecs./cm2） | 1E16 | 1E16 | 1E16 | 1E16 |
| 升温速率(K/sec) | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
3.频率因子（振动项）的差异
一次脱离反应的情况下
| A | B | C | D | |
| 活化能（eV） | 2.0 | 2.0 | 2.0 | 2.0 |
| 频率因子 （cm2/sec） | 1E14 | 1E13 | 1E12 | 1E11 |
| 初始分子的数量（molecs./cm2） | 1E15 | 1E15 | 1E15 | 1E15 |
| 升温速率(K/sec) | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
升温速率
| A | B | C | D | |
| 活化能（eV） | 2.0 | 2.0 | 2.0 | 2.0 |
| 频率因子 （cm2/molesc.sec） | 1E-2 | 1E-3 | 1E-4 | 1E-5 |
| 初始分子的数量（molecs./cm2） | 1E15 | 1E15 | 1E15 | 1E15 |
| 升温速率(K/sec) | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
扩散速率限制的情况
| A | B | C | D | |
| 活化能（eV） | 0.6 | 0.6 | 0.6 | 0.6 |
| 频率项 （cm2/sec） | 1E-0 | 1E-1 | 1E-2 | 1E-3 |
| 初始分子的数量（molecs./cm2） | 1E16 | 1E16 | 1E16 | 1E16 |
| 升温速率(K/sec) | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
4.初始分子数量的差异
一次脱离反应的情况下
| A | B | C | D | |
| 活化能（eV） | 2.0 | 2.0 | 2.0 | 2.0 |
| 频率因子（sec-1） | 1E13 | 1E13 | 1E13 | 1E13 |
| 初始分子的数量（molecs./cm2） | 2E15 | 1E15 | 5E14 | 2.5E14 |
| 升温速率(K/sec) | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
二次脱离反应的情况下
| A | B | C | D | |
| 活化能（eV） | 2.0 | 2.0 | 2.0 | 2.0 |
| 頻度因子 （cm2/molesc.sec） | 1E-3 | 1E-3 | 1E-3 | 1E-3 |
| 初始分子的数量（molecs./cm2） | 2E15 | 1E15 | 5E14 | 2.5E14 |
| 升温速率(K/sec) | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
升温速率
| A | B | C | D | |
| 活化能（eV） | 0.6 | 0.6 | 0.6 | 0.6 |
| 振动项 （cm2/sec） | 1E-1 | 1E-1 | 1E-1 | 1E-1 |
| 初始分子的数量（molecs./cm2） | 2E16 | 1E16 | 5E15 | 2.5E15 |
| 升温速率(K/sec) | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
5.昇温速度による違い
一次脱离反应的情况下
| A | B | C | |
| 活化能（eV） | 2.0 | 2.0 | 2.0 |
| 频率因子 （sec2） | 1E13 | 1E13 | 1E13 |
| 初始分子的数量（molecs./cm2） | 1E15 | 1E15 | 1E15 |
| 升温速率(K/sec) | 1/6 | 0.5 | 1.0 |
二次脱离反应的情况下
| A | B | C | |
| 活化能（eV） | 2.0 | 2.0 | 2.0 |
| 频率因子 （cm2/molesc.sec） | 1E-3 | 1E-3 | 1E-3 |
| 初始分子的数量（molecs./cm2） | 1E15 | 1E15 | 1E15 |
| 升温速率(K/sec) | 1/6 | 0.5 | 1.0 |
扩散速率限制的情况
| A | B | C | |
| 活化能（eV） | 0.6 | 0.6 | 0.6 |
| 频率因子 （cm2/sec） | 1E-1 | 1E-1 | 1E-1 |
| 初始分子的数量（molecs./cm2） | 1E16 | 1E16 | 1E16 |
| 升温速率(K/sec) | 1/6 | 0.5 | 1.0 |
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