−烘焙−

隔热套安装

❶通过软件关闭质量分析仪（QMS）的SEM及灯丝电源。

❷通过触摸屏关闭QMS电源。

❸断开连接至QMS控制器的电源线与通信线。

❹使用六角扳手松开安装螺丝，拆卸QMS控制器。

❺确认温度传感器的安装状态。

❻为各观察口安装保护盖。

❼拆卸上部热电偶接入端子连接器。

❽安装隔热罩。
隔热罩分为主腔室部分和样品转移机构部分两类。
主腔室部分的隔热罩需从设备前侧覆盖安装，并通过后侧和顶部的魔术贴固定。
后侧区域因主腔室真空计传感器（IG）及涡轮分子泵等部件布局紧凑，间隙较小，安装时请务必谨慎操作。

烘烤设置

❶通过触摸屏设置烘烤时间或结束日期时间。

❷按下开始按钮启动程序。

❸完成上述操作后烘烤程序启动，设备将加热至设定温度。

❹达到设定时间或设定日期时，加热器输出将自动切断。

烘焙后的处理

❶等待温度降至接近室温。

❷卸下隔热套，安装QMS控制器并接线，将各部件复位。

旋转泵（RP）换油步骤
建议每年更换一次旋转泵机油。

❶按操作手册要求停止设备运行。

❷确认RP本体已冷却。

❸拆卸快速夹具与金属连接器。

❹打开注油口。

❺处理好排油口防止漏油，打开排油口。注意油液会急速流出。

❻待油液排尽后，关闭排油口。

❼通过注油口注入规定量的机油。

❽关闭注油口，按相反步骤进行组装。

注意事项

●使用过的油可能混有高毒性物质，更换时请佩戴防护眼镜及耐油耐化学品手套。
●卸下RP时，请在地面铺设防护垫以防止油液四处飞溅。
●RP停止运行后，油液可能处于高温状态，存在烫伤风险。
●废弃油液须进行规范处置。
●严禁使用非本公司指定油品或非原厂纯正油品。
●本设备属重型机械，操作时需严防坠落风险。
●更换作业须由熟悉操作流程的专业人员执行。