光激发脱离分析装置PSD

特点
光激发脱离分析装置（PSD）是一种通过向样品照射真空紫外线（120～400nm），并利用质谱仪观测从样品最表面脱离分子的分析装置。
通过扫描照射波长，可了解不同波长下脱离成分的差异，适用于分析样品表面的污染物、样品最表层结构以及真空紫外线对样品的影响等。
此外，通过热辅助功能可观察特定温度下的光激发脱离现象，有助于设计半导体、显示器、太阳能电池等领域的热光工艺。

载物锁定室配置

载物锁定室配置
与本公司其他分析装置相同，本设备配备了用于提升测量效率并维持高真空环境的负载锁定室。

真空紫外光源
在氩气中由Nd³⁺:YAG激光器产生的激光激发等离子体，可产生覆盖真空紫外至可见光的宽波长光谱。通过衍射光栅分光后，将单色聚焦光照射至样品，可诱导各照射波长对应的脱离反应。波长扫描方向可设置为长波向短波或短波向长波。

热辅助型
真空紫外线照射引发的光激发脱离反应，可通过升温来促进。应用本公司TDS技术，可在保持样品恒温状态下实施真空紫外线照射。

光脱离分析装置构成

光脱离分析装置构成

光脱离分析装置的构成
光脱离分析装置由产生真空紫外线的真空紫外光源部，以及检测从样品中脱离的成分的测量部构成。

真空紫外光源
当Nd³⁺：YAG激光器引入充有氩气的光源腔室时，氩气被激发形成等离子体。这种激光激发等离子体可释放覆盖真空紫外至可见光区域的宽波长光谱。
通过衍射光栅分光后，将单色光照射至样品，即可观测各照射波长对应的脱离现象。
可用波长取决于搭载的衍射光栅，本装置标准覆盖范围为120～400nm。

负载锁定室
负载锁定室是实现高效测量（高吞吐量）与高灵敏度的必要装置。
本公司的负载锁定室配合样品传输机构，可将样品快速引入超高真空分析室。
若无负载锁室，每次更换样品时均需将分析室暴露于大气环境中。一旦暴露，分析室内将吸附大量大气成分（特别是水分），需耗费长时间才能充分排空。

分析腔室
通过真空紫外线照射实现的光激发脱离，可通过提高温度来促进。应用本公司TDS技术，可在保持样品恒温状态下进行真空紫外线照射。
分析腔室结构与升温脱附分析装置相同。即使在高温区域，也能在将背景水平上升控制在最小限度的状态下对样品进行加热。真空紫外光源部的分光腔室与测量部的分析腔室，通过带MgF2窗口的法兰隔开并连接。