高频加热型升温脱附分析装置IESCO-TDS1700 IH

特点
高频加热型升温脱附分析装置ESCO-TDS1700 IH ，是在超高真空环境（10^-7Pa以下）下，通过电磁感应加热对样品进行程序升温时，利用四极杆质谱仪（QMS）实时观测脱附分子的分析装置。
凭借超高真空环境，可在抑制次级反应^※1影响的理想状态下，实现对脱离组分的高灵敏度观测。
该装置能高效加热钢铁等金属材料，可进行超过1700℃的测量。
亦可测量钢材中作为氢脆化（延迟断裂）因子的钢中扩散性氢的低温TDS值。
装置本体通过PLC（可编程逻辑控制器）实现自动化控制，并采用触摸屏作为操作界面。

※1＝指测量过程中加热后的试样与环境成分发生的反应，或试样脱离成分与环境成分发生的反应。

【参考文献】
●北原学, et al. 腐蚀环境下应力作用下高强度钢板的腐蚀速率与扩散性氢的评估.《材料与环境》, 2018, 67.4: 172-178.
●HANADA, Chihiro, et al. Suppression of bubble formation in levitated molten samples of Ti6Al4V with TiC for Hetero-3D at the International Space Station (ISS). International Journal of Microgravity Science and Application, 2023, 40.3: 400301.

负载锁定室配置

负载锁定室配置
负载锁定室是实现高效测量（高吞吐量）与高灵敏度测量的必备装置。本公司的负载锁定室与样品输送机构可将样品快速导入超高真空分析室。
若无负载锁定室，每次更换样品时均需将分析室暴露于大气环境。一旦暴露于大气，分析室内将吸附大量大气成分（尤其是水分），需耗费长时间才能充分排空。

コールドトラップ（オプション）

钢中扩散性氢的低温TDS测定
由于能够对冷却后的钢制试样进行测定，因此可对扩散系数较大的BCC钢中的扩散性氢进行高精度定量分析，且不会造成氢的损失。
冷却后的钢材试样表面会附着霜层，霜层脱落会影响氢信号，成为扩散氢含量误差的因素（导致不确定度增大）。ESCO-TDS1700 IH 的冷阱（选配件）通过捕获霜层，可将霜层影响降至最低，从而获得失真较小的扩散氢脱落光谱。

脱离气体的定量
通过数据处理程序可实现脱离气体的定量分析。进行脱离气体定量时，需定期校准质谱仪的灵敏度。
采用标准泄漏液进行灵敏度校准时，需准备与气体种类数量相同的高价标准泄漏液，校准作业耗时较长。此外，使用有毒气体标准泄漏液时，安全卫生管理要求更为严格。
现行定量程序相比标准泄漏液校准法，能更快速、简便且安全地完成脱离气体定量。仅需定期测量本公司生产的NIST可追溯氢标准样品，即可获得高精度结果。本公司开发的灵敏度补偿法不仅适用于氢气，亦可对其他气体进行灵敏度补偿。经确认，该方法校准结果与基于产业技术综合研究所(AIST)国家标准的标准泄漏校准结果高度吻合。

【参考文献】
●平下纪夫; 浦野真理; 吉田肇. 分析领域中的气体释放测量. 日本真空学会杂志, 2014, 57.6: 214-218.

技术解析／升温脱离法
本资料为升温脱离法解析中使用的脱离模型及活化能计算方法的参考资料。

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技术解析／定量分析（升温脱附分析装置中的定量）
本资料基于平下与内山在《分析化学》期刊发表的报告「N.Hirashita and T.Uchiyama, BUNSEKI KAGAKU, 43 , 757 (1994)」
通过升温脱附分析装置测得的升温脱附光谱，可实现脱附气体的定量分析。
当测量腔室的排气速率远大于脱附气体引起的腔室压力变化时，脱附气体的分压变化与单位时间内的脱附量（脱附速率）成正比。
由于质谱仪中离子电流与分压呈线性关系，最终离子电流与脱附速率成正比，可通过离子电流积分面积强度计算总脱附量。
若预先使用注入定量H+的硅样品测定面积强度与脱附量的比例系数，即可通过m/z2的面积强度测定各类样品的氢脱附量。
对于氢以外的分子，可通过氢与目标分子的电离难易度、碎裂因子、透射率等参数计算目标分子的比例系数。利用该比例系数即可实现非氢分子的定量分析。

液氮自动供给装置
辐射温度计

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消耗品