−烘烤−

安装隔热套

❶通过软件关闭质谱仪（QMS）的SEM及灯丝功能。

❷按下QMS电源开关关闭设备电源。

❸断开连接至QMS控制器的电源线与通信线。

❹使用六角扳手松开安装螺丝，拆卸QMS控制器。

❺确认温度传感器的安装状态。

❻为各观察口安装保护盖。

❼拆卸上部热电偶接入端子连接器。

❽安装隔热罩。
隔热罩分为主腔体部分和样品转移机构部分两部分。
主腔体部分的隔热罩需从设备前侧覆盖安装，并用后侧和上部的魔术贴固定。
后侧区域因配置有主腔体真空计传感器（IG）和涡轮分子泵，间隙较小，请谨慎安装。

烘烤控制器设置

❶通过烘烤计时器设定烘烤时间。

❷将烘焙控制器电源断路器切换至ON位置。

❸按下复位启动开关。
按下复位启动开关后，指示灯点亮，向烘烤用温度调节器和烘烤计时器供电，并重置过热指示灯。

完成上述操作后烘烤开始，设备将加热至温度调节器的设定温度。
计时器达到设定时间后，加热器输出将被切断。

烘焙用温度调节器操作说明

❶按下温度显示切换键，可在主腔室当前温度与设定温度显示间切换。

❷在设定温度显示状态下，按设定键（上键）（下键）进行数值调整。

❸通过温度显示切换键确认设定值，恢复当前温度显示。

烘烤后处理

❶待温度降至接近室温后，关闭烘烤控制器电源开关。

❷拆卸隔热罩，安装QMS控制器并完成接线，将各部件复位。

旋转泵换油操作流程

❶按操作手册要求停止设备运行。

❷确认旋转泵(RP)本体已冷却。

❸卸下RP固定螺母（4处）、快装夹具、金属连接器及温度熔断器，将RP从机箱中卸下。

❹打开注油口。

❺处理好排油口防止机油溢出，打开排油口。注意机油会急速流出。

❻待机油排尽后，关闭排油口。

❼通过注油口注入规定量的机油。

❽关闭注油口，按相反步骤进行组装。

注意事项

●废旧油可能混有高毒性物质，更换时请佩戴防护眼镜及耐油耐化学品手套。
●卸下RP时为防止油液四溅，请在地面铺设防护垫。
●RP刚停止运转时，油液可能处于高温状态，存在烫伤风险。
●废弃油液须进行规范处置。
●严禁使用非本公司指定油品或非制造商原装油液。
●本设备属重型机械，操作时务必注意防坠落。
●更换作业须由熟悉操作流程的人员执行。