装置本体の起動

❶电源断路器ON
装置裏面下パネルの電源ブレーカーをONにします。

❷启动
按下触摸屏上的「Start Up」按钮。
系统将等待10秒检测各类传感器响应，若无异常则切换至“启动/停止”页面。

❸启动
长按触摸屏“启动”按钮3秒。
设备内部的PLC（可编程逻辑控制器）将启动运行序列，各真空泵及阀门将通过自动控制运行。
当主腔室显示信息变为“正常运行”时，主腔室启动完成。
当装载锁定室显示信息变为“正常运行”时，装载锁定室启动完成。

注意事项	启动操作前，请务必确认电源、氮气及压缩空气的供应状态。

设备本体停止

❶关闭QMS丝材
通过TDS测量软件或丝材管理器，将QMS的丝材设置为OFF，SEM设置为OFF。

❷停止
长按触摸屏启动/停止标签页的“停止”按钮3秒。
设备内部PLC（可编程逻辑控制器）将启动停止程序，自动控制各真空泵及阀门。
当主腔室显示“停止”状态时，主腔室停止程序即告完成。
当装载锁显示“停止”状态时，装载锁腔室停止程序即告完成。

注释	TMP1完全停止需耗时20分钟以上。
	启动停止程序后，QMS电源将关闭。

❸关闭电源断路器
需切断设备电源时，请关闭背面下侧面板的电源断路器。
关闭电源断路器后，触摸屏和PLC的电源也将被切断。