设备本体启动

❶电源开关ON
将设备背面下侧面板的电源开关置于ON位置。

❷启动程序
按下触摸屏上的「Start Up」按钮。
系统将等待10秒检测各传感器状态，若无异常则切换至“启动/停止”页面。

❸启动
长按触摸屏上的“启动”按钮3秒。
通过设备内部的PLC（可编程逻辑控制器）启动启动序列，各真空泵及各阀门将自动运行。
当主腔室显示“正常运行”时，主腔室启动完成。
当装载锁显示“正常运行”时，装载锁腔室启动完成。

注意事项	启动操作前，请务必确认电源、氮气及压缩空气的供应状态。

设备本体停止

❶关闭QMS发热丝
通过TDS测量软件或发热丝管理器，将QMS的发热丝关闭，SEM关闭。

❷停止
长按触摸屏启动/停止标签页中的“停止”按钮3秒钟。
设备内部的PLC（可编程逻辑控制器）将启动停止程序，自动控制各真空泵及各阀门。
当主腔室显示“停止”信息时，主腔室停止完成。
当装载锁显示“停止”信息时，装载锁腔室停止完成。

注释	TMP1完全停止需耗时20分钟以上。
	停止序列启动后，QMS电源将关闭。

❸关闭电源断路器
若需切断设备电源，请关闭背面下侧面板的电源断路器。
关闭电源断路器后，触摸屏及PLC的电源也将同时切断。

备注	电源断路器关闭后，IH温度控制的PID参数将被初始化。 此外还有其他数值会被初始化。