특징
승온 탈리 분석 장치 ESCO-TDS1200Ⅱ IR는 시료를 초고진공 환경(10^-7Pa 이하)에서 적외선에 의해 프로그램 승온했을 때 탈리하는 분자를 사중극자 질량 분석기(QMS)로 실시간 관측하는 분석 장치입니다.
대기압 환경(10⁵ Pa)에서 시료를 가열하는 열분석 장치에 비해 낮은 배경 환경에서 관측할 수 있습니다. 대기압 환경에서는 낮은 배경화(低背景化)가 어려운 대기 성분(물, 수소, 산소, 질소, 이산화탄소 등)에서도 고감도로 관측할 수 있습니다.
또한 시료만 가열되는 구조로 되어 있어 고온 영역에서도 배경이 상승하지 않아 이탈 분자의 고감도 관측이 가능합니다.
시료에서 이탈한 분자에 대해 화학 종의 동정 및 정량이 가능합니다. 이탈한 분자의 흡착·결합 상태나 확산 과정 등의 정보도 얻을 수 있습니다.
박막 시료나 박판 시료 등의 측정에 최적입니다. 새로운 ESCO-TDS1200Ⅱ IR는 기존 TDS1200 시스템을 리뉴얼하여 인터페이스에 터치 패널을 채택했습니다. CE 마크 사용 기준을 충족합니다.

【참고문헌】
●일본표면진공학회 편; 도설 표면분석 핸드북. 아사쿠라서점, 2021, V장 기타. 25절 탈리 분석법. 1항 승온 탈리법(오구라 쇼헤이) : 464-469.
●히라시타 노리오; 아지오카 쓰네오; 히나기 야스시. 새로운 승온 탈리 가스 분석 장치의 개발과 VLSI 재료 및 공정 평가에의 응용. 진공, 1991, 34.11: 813-819.
●히라시타 노리오; 우치야마 타이조. 승온 탈리 가스 분석법에 의한 반도체 집적 회로 재료로부터의 방출 가스 정량 분석. 분석 화학, 1994, 43.10: 757-764.

로드록 챔버 장비
로드록 챔버는 측정의 고효율화(고슬루프) 및 고감도화를 위해 필수적입니다. 당사의 로드록 챔버와 시료 이송 장치는 시료만을 신속하게 초고진공 분석 챔버로 도입할 수 있습니다.
로드록 챔버가 없다면 시료 교체 시마다 분석 챔버를 대기에 개방해야 합니다. 일단 대기에 개방되면 분석 챔버 내부에 다량의 대기 성분(특히 수분)이 흡착되어 충분히 배기되기까지 오랜 시간이 소요됩니다.

ESCO-TDS1200Ⅱ IR는 석영 막대를 통해 도입된 적외선으로 시료를 직접 가열하므로 고온 영역에서도 배경 수준 상승이 최소화되어 고감도 측정이 가능합니다.

사중극자 질량 분석기(QMS)의 배치
탈리 가스를 고감도로 검출하기 위해 QMS 이온화실이 시료의 바로 위에 배치되어 있습니다. 바로 위에 배치함으로써 시료에서 탈리한 가스가 직접 QMS 이온화실에 도달할 수 있으므로 증착성이 높은 금속이나 분자량이 큰 유기 분자도 고감도로 검출할 수 있습니다.

이탈 가스의 정량
데이터 처리 프로그램을 통해 이탈 가스의 정량이 가능합니다. 이탈 가스의 정량을 수행하려면 정기적으로 질량 분석기의 감도를 교정해야 합니다.
표준 리크를 이용한 감도 교정은 가스 종류와 동일한 수의 고가한 표준 리크를 준비해야 하며, 교정 작업에 시간이 소요됩니다. 또한 유독 가스 표준 리크를 사용할 경우 안전 위생 관리도 엄격해집니다.
현행 정량 프로그램은 표준 리크에 의한 교정법에 비해 신속하고 간편하며 안전하게 이탈 가스의 정량을 수행할 수 있습니다. 당사 제조의 NIST 추적 가능 수소 표준 시료를 정기적으로 측정하기만 하면 높은 정밀도의 결과를 얻을 수 있습니다. 당사가 개발한 감도 보정법은 수소 이외의 가스에서도 감도를 보정할 수 있으며, 산업기술종합연구소(AIST)의 국가 표준에 기반한 표준 리크로 교정한 정량 결과와도 잘 일치하는 것이 확인되었습니다.

【참고문헌】
●히라시타 노리오; 우라노 마리; 요시다 하지메. 분석 분야에서의 가스 방출 측정. Journal of the Vacuum Society of Japan, 2014, 57.6: 214-218.

기술 해설／승온 탈리법
승온 탈리법 분석에 사용되는 탈리 모델 및 활성화 에너지 구법에 관한 참고 자료입니다.

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기술 해설／정량 분석(승온 탈리 분석 장치에서의 정량)
이 자료는 히라시타·우치야마의 분석 화학에서의 보고 「N.Hirashita and T.Uchiyama, BUNSEKI KAGAKU, 43 , 757 (1994)」에 근거하고 있습니다.
승온 탈리 분석 장치로 측정한 승온 탈리 스펙트럼으로부터 탈리 가스의 정량을 수행할 수 있습니다.
측정 챔버의 배기 속도가 탈리 가스에 기인한 측정 챔버의 압력 변화에 비해 충분히 클 때, 탈리 가스의 분압 변화는 단위 시간당 탈리량(탈리 속도)에 비례합니다.
질량 분석기에서는 이온 전류와 분압이 비례하므로, 결국 이온 전류와 탈리 속도가 비례하게 되어, 이온 전류를 적분한 면적 강도로 전체 탈리량을 계산할 수 있습니다.
알려진 양의 H+를 주입한 Si 시료를 사용하여 면적 강도와 탈리량의 비례 계수를 미리 구해 두면, 다양한 시료에 대해 m/z2의 면적 강도로 수소의 탈리량을 결정할 수 있습니다.
또한 수소 이외의 분자에 대해서는, 수소와 목적 분자의 이온화 난이도, 분해 인자, 투과율 등의 파라미터로부터 목적 분자에 대한 비례 계수를 계산할 수 있습니다. 이 비례 계수를 사용하면 수소 이외의 분자의 정량도 가능합니다.

분체 시료용 가스 퍼지
미세한 분체 시료를 비산시키지 않고 로드 록 챔버를 가스 퍼지하는 구조입니다.

목적	・분체 시료가 존재하는 로드록 챔버를 퍼지하면 시료가 비산됩니다. ・퍼지 라인에 스위치 타입 밸브를 채용하고 있습니다. ・간편한 조작으로 시료 비산이 방지됩니다.
구성	슬로우 리크 밸브 ASSY(SUS 배관・니들 밸브 등)
옵션 적용 대상	・ESCO-TDS1200Ⅱ IR ・TDS1200 ・EMD-WA1000S/W ・EMD-WA1000S

전송 용기
글로브 박스 등의 혐기성 환경에서 조제한 시료를 대기에 노출시키지 않고 로드 록 챔버로 도입할 수 있습니다.

사양	외기 교환 속도＝1.5MPa→1.5MPa（48시간 후）
구성	・트랜스퍼 베셀(압력 게이지 부착 가능) ・트랜스퍼 베셀 장착용 로드 록 챔버
옵션 대상	・ESCO-TDS1200Ⅱ IR ・TDS1200 ・EMD-WA1000S/W ・EMD-WA1000S
기타	부품 단품 판매도 진행하고 있습니다. TDS에 장착할 경우, 로드록 개조가 필요합니다.

시료 스테이지 교환 기구
메인 챔버를 대기 개방하지 않고 시료 스테이지를 교환할 수 있습니다.
가열 조건에 맞춰 투명 스테이지와 SiC 스테이지를 간편하게 교체할 수 있습니다.
시료 승화로 인해 시료 스테이지가 오염된 경우에도 즉시 교체 가능하여 안심입니다.

냉각수 순환 장치
적외선 집광 미러의 냉각을 위해 냉각수의 순환이 필요합니다.
장치 설치 환경에 냉각수 공급 설비가 없는 경우, 냉각수 순환 장치의 병용을 권장합니다.
단일 기능의 냉각수 순환 장치부터 각종 옵션 기능 탑재형까지 선택할 수 있습니다.
누수 센서와 조합하여 누수 감지 시 냉각수 순환 장치 OFF, 적외선 가열 OFF 등에도 대응할 수 있습니다.

QMS 매니폴드
메인 챔버와 터보 분자 펌프 사이에 QMS 분석관 설치 공간을 마련합니다.
분석관으로의 금속 증착 등을 경감시켜 QMS의 감도 저하를 억제할 수 있습니다.
또한 액체 질소 트랩을 설치함으로써 강철 중 수소량을 보다 정밀하게 결정할 수 있습니다.

2kW 가열원
일반적으로 1200℃까지의 가열을 1400℃까지 올릴 수 있습니다.

소모품

표준 시료	⇒수소 이온 주입 표준 시료
F 제거제	⇒F 제거제
스테이지	⇒SiC 소결체 시료 스테이지	⇒원형 투명 시료 스테이지	⇒석영제 링형 스테이지 개
시료 접시	⇒투명 석영 시료 접시 [AM100749-4]	⇒투명 석영 시료 접시 C [ES001461-4]	⇒SiC 소결체 시료 접시 [ES000036-4]	⇒구멍이 있는 SiC 소결체 시료 커버 [PD0004-4]
가열 램프	⇒가열 램프 1kW	⇒가열 램프 2kW