광흥분 이탈 분석 장치 PSD

특징
광흥분 이탈 분석 장치(PSD)는 진공 자외선(120~400nm)을 시료에 조사하여 그 최표면에서 이탈해 나오는 분자를 질량 분석기로 관측하는 분석 장치입니다.
조사 파장을 스캔함으로써 파장별 이탈 성분의 차이를 파악할 수 있으며, 시료 표면의 오염물·시료 최표면의 구조·시료의 진공 자외선 영향 등에 대한 분석에 활용할 수 있습니다.
또한 열 지원 기능을 이용하면 지정된 온도에서의 광흥분 이탈 현상을 관찰할 수 있어 반도체·디스플레이·태양전지 등에서 사용되는 열·광 공정 설계에 도움이 됩니다.

로드록 챔버 장착

로드록 챔버 장착
당사 분석 장치의 다른 제품들과 마찬가지로, 측정의 효율화와 고진공 환경 유지를 위한 로드록 챔버를 장착하고 있습니다.

진공 자외선 광원
아르곤 가스 중 Nd³⁺:YAG 레이저로 생성된 레이저 여기 플라즈마는 진공 자외선부터 가시광선에 이르는 넓은 파장의 빛을 발생시킵니다. 회절 격자로 분광한 단색 집광을 시료에 조사함으로써 조사 파장별 이탈을 유발합니다. 파장 스캔은 장파장에서 단파장, 단파장에서 장파장 모두 설정 가능합니다.

열 지원형
진공 자외선 조사에 의한 광 여기 탈리는 온도를 높임으로써 촉진됩니다. 당사 TDS 기술을 응용하여 시료를 일정 온도로 유지한 상태에서 진공 자외선 조사를 수행할 수 있습니다.

광탈리 분석 장치의 구성

광탈리 분석 장치의 구성
광탈리 분석 장치는 진공 자외선을 발생시키는 진공 자외선 광원부와 시료로부터 탈리한 성분을 검출하는 측정부로 구성되어 있습니다.

진공 자외선 광원
아르곤 가스를 충전한 광원 챔버 내에 Nd³⁺:YAG 레이저를 도입하면 아르곤 가스가 여기되어 플라즈마가 발생합니다. 이 레이저 여기 플라즈마는 진공 자외선부터 가시광선 영역에 이르는 넓은 파장의 빛을 방출합니다.
회절 격자로 분광한 단색광을 시료에 조사함으로써, 조사 파장별 이탈을 관측합니다.
사용 가능한 파장은 탑재한 회절 격자에 따라 결정되지만, 본 장치에서는 120~400nm를 표준으로 합니다.

로드록 챔버
로드록 챔버는 측정의 고효율화(고슬루프) 및 고감도화를 위해 필수적입니다.
당사의 로드록 챔버와 시료 이송 장치는 시료만을 신속하게 초고진공 분석 챔버로 도입할 수 있습니다.
로드록 챔버가 없다면 시료 교환 시마다 분석 챔버를 대기에 개방해야 합니다. 그러나 일단 대기에 개방되면 분석 챔버 내부에 다량의 대기 성분(특히 수분)이 흡착되어 충분히 배기되기까지 오랜 시간이 소요됩니다.

분석 챔버
진공 자외선 조사에 의한 광 여기 탈리는 온도를 높임으로써 촉진됩니다. 당사 TDS 기술을 응용하여 시료를 일정 온도로 유지한 상태에서 진공 자외선 조사를 수행할 수 있습니다.
분석 챔버는 승온 탈리 분석 장치와 동등한 구성입니다. 고온 영역에서도 배경 수준 상승을 최소화한 상태에서 시료를 가열할 수 있습니다. 진공 자외선 광원부의 분광 챔버와 측정부의 분석 챔버는 MgF2 창이 달린 플랜지로 분리되어 연결되어 있습니다.