본 자료는 히라시타·우치야마의 분석화학 논문 「N.Hirashita and T.Uchiyama, BUNSEKI KAGAKU, 43 , 757 (1994)」을 기반으로 합니다.

승온 탈리 분석 장치로 측정한 승온 탈리 스펙트럼으로부터 탈리 가스의 정량을 수행할 수 있습니다.

측정 챔버의 배기 속도가 탈리 가스에 기인한 측정 챔버의 압력 변화에 비해 충분히 클 때, 탈리 가스 성분의 분압 변화는 단위 시간당 탈리량(탈리 속도)에 비례합니다.

질량 분석기에서는 이온 전류와 분압이 비례하므로, 결국 이온 전류와 탈리 속도가 비례하게 되어 이온 전류를 적분한 면적 강도로 전체 탈리량을 계산할 수 있습니다.
알려진 양의 H+를 주입한 Si 시료를 사용하여 면적 강도와 탈리량의 비례 계수를 미리 구해두면, 다양한 시료에 대해 m/z2의 면적 강도로 수소의 탈리량을 결정할 수 있습니다.

또한 수소 이외의 분자에 대해서는 수소와 목표 분자의 이온화 난이도, 분해 인자, 투과율 등의 파라미터로부터 비례 계수를 계산할 수 있습니다.
이 비례 계수를 사용하면 수소 이외의 분자의 정량도 가능합니다.