PMMA(폴리메틸메타크릴레이트, 아크릴)의 광탈리 실험을 장치의 원리 검증을 위해 실시했습니다. 여기서 확인하는 것은 시료가 빛을 흡수하여 파장별로 다른 성분이 이탈하는 것입니다.

그림 1은 PMMA 막의 실온 시 광탈리 데이터입니다.
170nm와 210nm에서 메틸기, 에틸기의 이탈을 확인할 수 있습니다.


　그림 1 PMMA 막의 실온 시 광탈리 데이터

그림 2는 동일한 PMMA 막의 실온에서의 광탈리 데이터이지만, 3개의 샘플을 날짜를 두고 측정했을 때의 질량수 29를 비교한 것입니다.
각 측정 사이에 질량분석기의 신호 증폭률을 변경하고, 또한 샘플 조제도 따로 진행했기 때문에 작은 신호에 차이가 나타났습니다.


　그림 2 PMMA 막의 경시 변화 모습

그림 3 또한 PMMA 막의 실온 시 광탈리 데이터입니다. 이 데이터는 하나의 샘플을 초고진공 상태에서 정지시킨 채 반복적으로 광탈리를 수행한 것입니다. 1회차 데이터만이 다른 신호 형태를 보입니다. 또한 광탈리 측정 후 PMMA 막의 두께를 측정한 결과, 1회의 광탈리 측정으로 4nm의 두께 감소가 관찰되었습니다. 이를 통해 1회째는 대기 영향이 가해진 PMMA 막, 2회째 이후는 순수한 PMMA 막의 데이터를 나타낸다고 생각됩니다.