정비
장치를 도입해 주신 고객님께 유지보수 및 오버홀 서비스를 제공합니다.
아래 항목을 참조해 주십시오.
No.001 사전 조사
| 실시 시기 | 매년 |
|---|---|
| 표준 작업 시간 | 4.0H |
| 사용·교체 부품 | 점검용 샘플 일체 |
| 비고 | 장치의 현황 점검을 실시합니다. |
No.002 적외선 램프 교체
| 실시 시기 | 매년 |
|---|---|
| 표준 작업 시간 | 0.5H |
| 사용·교체 부품 | 적외선 램프［1］ |
| 비고 | 장치 사양에 따라 사용 부품이 다릅니다. |
No.003 포어라인 트랩 엘리먼트 교체
| 실시 시기 | 매년 |
|---|---|
| 표준 작업 시간 | 0.5H |
| 사용·교체 부품 | 엘리먼트: 20-H026-00-050［1캔］ |
| 비고 | 장치 사양에 따라 사용 부품이 다릅니다. |
No.004 로터리 펌프 오일 교환
| 실시 시기 | 6개월마다 |
|---|---|
| 표준 작업 시간 | 2.0H |
| 사용·교체 부품 | 로터리 펌프 오일 |
| 비고 | 장치 사양 및 제조사에 따라 사용 부품이 다릅니다. |
No.005 가열 시료대 교체
| 실시 시기 | 매년 |
|---|---|
| 표준 작업 시간 | 2.0H |
| 사용・교환 부품 | 석영 스테이지, 열전대, ICF 개스킷 |
| 비고 | 장치 사양에 따라 사용 부품이 다릅니다. |
No.006 가열 챔버 내 청소
| 실시 시기 | 매년 |
|---|---|
| 표준 작업 시간 | 0.5H |
| 사용·교체 부품 | ICF 개스킷 |
No.007 로드록 챔버 내 청소
| 실시 시기 | 2년마다 |
|---|---|
| 표준 작업 시간 | 3.0H |
| 사용·교체 부품 | ICF 개스킷 |
No.008 시료 이송 기구판 스프링 교체
| 실시 시기 | 2년마다 |
|---|---|
| 표준 작업 시간 | 1.0H |
| 사용・교환 부품 | 판 스프링, 개스킷 |
No.009 적외선 도입 기구부 연마
| 실시 시기 | 2년마다 (기구조화 오염 상황에 따라) |
|---|---|
| 표준 작업 시간 | 1.0H |
| 사용·교체 부품 | 가스켓 |
No.010 TMP（2）베어링 교체
| 실시 시기 | 3년마다 |
|---|---|
| 표준 작업 시간 | 3.0H |
| 사용·교체 부품 | 베어링, 개스킷 |
| 비고 | 장치 사양에 따라 사용 부품이 다릅니다. |
No.011 오일 미스트 필터 교체
| 실시 시기 | 4년마다 (오염 상황에 따라) |
|---|---|
| 표준 작업 시간 | 0.5H |
| 사용·교체 부품 | 필터 |
No.012 게이트밸브 교체
| 실시 시기 | 4년마다 |
|---|---|
| 표준 작업 시간 | 4.0H |
| 사용·교체 부품 | 게이트 밸브, 개스킷 |
| 비고 | 장치 사용 빈도에 따라 다릅니다. |
No.013 로터리 펌프 교체
| 실시 시기 | 5년마다 |
|---|---|
| 표준 작업 시간 | 2.0H |
| 사용・교체 부품 | 로터리 펌프, 방진 고무 |
No.014 QMS 분해능・질량축 조정
| 실시 시기 | 매년 |
|---|---|
| 표준 작업 시간 | 2.0H |
| 사용・교환 부품 | 조정용 표준 가스 |
No.015 QMS 이온원 교체
| 실시 시기 | 2년마다 (오염 상황에 따라) |
|---|---|
| 표준 작업 시간 | 2.0H |
| 사용·교체 부품 | 이온원, 개스킷 |
No.016 진공 가동・베이킹 세트
| 실시 시기 | 매년 |
|---|---|
| 표준 작업 시간 | 2.0H |
No.017 오버홀 후 성능 확인
| 실시 시기 | 매년 |
|---|---|
| 표준 작업 시간 | 5.0H |
| 사용·교체 부품 | 점검용 샘플 일체 |
| 비고 | 정비를 실시할 때는 반드시 수행합니다. |
No.018 QMS 검량선용 측정
| 실시 시기 | 매월 |
|---|---|
| 표준 작업 시간 | 1.0H |
| 사용・교환 부품 | 이온 주입 웨이퍼 |
| 비고 | 베이킹 1일 이상 실시 후 진행합니다. |
No.019 QMS 특성 보정용 측정
| 실시 시기 | 매년 |
|---|---|
| 표준 작업 시간 | 3.0H |
| 사용·교환 부품 | 이온 주입 웨이퍼(각종) |
| 비고 | 베이킹 1일 이상 실시 후 진행합니다. |
문의 양식
제품에 관한 문의나 질문이 있으시면,
아래 문의 양식을 통해 편하게 문의해 주십시오.
