−베이킹−

단열 재킷 장착

❶질량 분석기(QMS)의 SEM 및 필라멘트를 소프트웨어로 OFF로 설정합니다.

❷터치 패널에서 QMS 전원을 OFF로 설정합니다.

❸QMS 컨트롤러에 연결된 전원 케이블과 통신 케이블을 분리합니다.

❹ 육각 렌치를 사용하여 장착 나사를 풀고 QMS 컨트롤러를 분리합니다.

❺ 온도 센서의 장착 상태를 확인합니다.

❻ 각 뷰잉 포트에 보호 커버를 장착합니다.

❼ 상부 열전대 도입 단자 커넥터를 분리합니다.

❽ 단열 재킷을 장착합니다.
단열 재킷은 메인 챔버부와 샘플 이송 기구부 두 가지가 있습니다.
메인 챔버부 단열 재킷은 장치 앞쪽에서 덮어씌우듯이 장착하고, 뒤쪽과 상부의 벨크로 테이프로 고정합니다.
후면에는 메인 챔버 진공계 센서(IG)와 터보 분자 펌프가 배치되어 있어 여유 공간이 적으므로 주의하여 장착하십시오.

베이킹 설정

❶베이킹 시간 또는 종료 일시를 터치 패널로 설정합니다.

❷시작 버튼을 눌러 시작합니다.

❸위의 조작으로 베이킹이 시작되어 설정 온도까지 가열됩니다.

❹ 설정 시간 또는 설정 일시에 도달하면 히터로의 출력이 차단됩니다.

베이킹 후 처리

❶실온 근처까지 온도가 내려갈 때까지 기다립니다.

❷단열 재킷을 제거하고, QMS 컨트롤러를 장착하여 배선하고 각 부품을 원래 위치로 되돌립니다.

로터리 펌프(RP) 오일 교환 절차
로터리 펌프의 오일 교환은 1년마다 권장합니다.

❶ 매뉴얼에 따라 장치를 정지합니다.

❷ RP 본체가 식었는지 확인합니다.

❸퀵 클램프, 메탈 커넥터를 분리합니다.

❹오일 주입구를 엽니다.

❺오일이 넘치지 않도록 오일 드레인을 처리하고 드레인을 엽니다. 오일이 한꺼번에 쏟아져 나오므로 주의하십시오.

❻오일이 완전히 빠지면 오일 드레인을 닫습니다.

❼ 오일 주입구를 통해 규정량의 오일을 넣습니다.

❽ 오일 주입구를 닫고 역순으로 조립합니다.

주의사항

●사용한 오일에는 독성이 높은 물질이 섞여 있을 수 있으므로, 교체 시에는 보호 안경과 내유성·내약성 장갑을 착용하십시오.
●RP를 내릴 때 오일이 주변에 흩어지지 않도록 바닥에는 보호 시트를 깔아 두십시오.
●RP 정지 직후에는 오일이 뜨거울 수 있어 화상 위험이 있습니다.
●오일 폐기는 적절한 처분을 해 주십시오.
●당사 공급 오일 또는 제조사 순정 오일 이외는 절대 사용하지 마십시오.
●중량물이므로 낙하에 주의하여 작업하십시오.
●교체에 숙련된 분이 교체 작업을 수행하십시오.