1. 수소 종단 실리콘의 경시 변화

목적・실험
HF 처리에 의해 표면을 수소로 종결한 실리콘 웨이퍼가 시간 경과에 따라 어떻게 변화하는지를 조사했습니다. 표면에 흡착된 수소를 탈리시켜 평가를 실시했습니다.
다음과 같은 절차로 실험・평가를 진행했습니다.
1. 실험에 사용할 수소 종결 Si 칩을 준비합니다.
2. 시료 조정 후, 2일, 7일, 14일, 28일 경과한 Si 칩을 승온 탈리 실험(승온 속도=60K/sec)합니다.
3. 탈리한 수소에 대해, 그 탈리 신호를 비교합니다.

결과
다음 그림에서 볼 수 있듯이, 시간이 지남에 따라 표면의 수소가 감소합니다.
어디까지 감소하는지는 추가적인 추적 실험이 필요합니다.

표면의 수소가 감소하는 이유는 산화가 진행되어 표면에 수산기가 발생하기 때문으로 생각됩니다.
다음 그림은 표면의 수소와 수산기가 결합하여 물이 탈리하는 모습을 보여줍니다.
예상대로 시간 경과에 따라 물의 양이 증가하고 있습니다.

2. 수소 이온 주입 시료 데이터

수소 이온 주입 시료 1E16개/c㎡ 예시

수소 이온 주입 시료 1E17개/c㎡의 예

참고: 피크가 나타나는 온도는 각종 조건에 따라 달라지므로 장치에 따라 다소 차이가 발생합니다.

3. 수소 이온 주입 시료의 재현성 데이터

수소 이온 주입 시료 1E16개/c㎡의 예

참고: 피크가 나타나는 온도는 각종 조건에 따라 달라지므로 장치에 따라 다소 차이가 발생합니다.

4. 옥살산 칼슘 도포 아르곤 이온 주입 시료 데이터

옥살산칼슘 도포 아르곤 이온 주입 시료의 예

참고: 피크가 나타나는 온도는 각종 조건에 따라 달라지므로 장비에 따라 다소 차이가 발생합니다.

5. 수소 충전된 저탄소 연강판의 수소 탈리 특성(저온 상승 탈리)

⇒수소 충전된 저탄소 연강판의 수소 탈리 특성 ※PDF 파일(170kb)이 열립니다.