−장치 가동 방법−

장치 가동

❶사전 확인을 합니다.
・누전 차단기가 OFF 상태입니다.
・압축 공기가 공급되고 있다.(0.01~0.02 MPa)
・RP1 스위치가 OFF 상태이다.

❷장치 뒷면에 있는 차단기를 ON으로 합니다.

❸장치 정면의 패널에 있는 RESET 스위치를 누릅니다.

메인 챔버 배기 시스템 가동

❶사전 확인을 실시합니다.
・메인 챔버가 닫혀 있고, 장비가 올바르게 설치되어 있다.
・메인 챔버 벤트 밸브가 닫혀 있다.
・AUTO / MANUAL 스위치가 MANUAL로 설정되어 있다.
・MV, VV, RV, GV 스위치가 CLOSE로 설정되어 있다.
・RP1 스위치가 OFF로 설정되어 있다.
・RP1 벤트 밸브가 닫혀 있다.
・벤트용 질소 가스와 밸브 구동용 압축 공기가 공급되고 있다. (0.01~0.02 MPa)
・메인 챔버가 대기압 이상이다.

❷RP1의 ON 스위치를 눌러 RP1을 기동합니다.

❸BV1의 OPEN 스위치를 눌러 메인 챔버를 거칠게 연삭합니다.
배기음이 작아질 때까지 기다립니다. (약 1분)

❹TMP1 컨트롤러의 START 스위치를 눌러 TMP1을 시작합니다.
TMP1이 정상 운전 상태가 될 때까지 기다립니다. (약 10분)

❺ 진공계의 ON 스위치를 눌러 전원을 켠 후, IG1 스위치를 눌러 필라멘트를 점등시킵니다.

❻ 질소 퍼지 밸브를 열고, 퍼지용 질소를 TMP1에 공급합니다.

❼ 메인 챔버의 압력이 1E-5 Pa 미만이 될 때까지 기다린 후, 질량 분석기의 전원을 켭니다.

로드록 챔버 배기 시스템 가동

❶사전 확인을 실시합니다.
・시료 도입구가 닫혀 있고, 장비가 올바르게 설치되어 있는지.
・AUTO / MANUAL 스위치가 MANUAL로 설정되어 있는지.
・MV, VV, RV, GV 스위치가 CLOSE 상태이다.
・RP2 스위치가 OFF 상태이다.
・질소 가스(벤트 사용 가스)와 압축 공기(밸브 구동용)가 공급되고 있다.
・RP2 벤트 밸브 및 TMP2 벤트 밸브가 닫혀 있다.

❷RP2의 ON 스위치를 눌러 RP2를 기동하고 TMP2 후면의 배기를 시작합니다.
배기음이 작아질 때까지 기다립니다.
※ BV2가 자동으로 열리고 TMP2 컨트롤러에 전원이 공급됩니다.

❸ TMP2 컨트롤러의 START 스위치를 눌러 TMP2를 가동합니다.
정상 운전 상태가 될 때까지 기다립니다. (약 10분)

❹RV 스위치를 OPEN으로 설정하여 거친 인덕션(粗引き)을 시작합니다.
로드 록(ロードロック)의 거친 인덕션이 완료될 때까지 기다립니다. (약 5분)

❺RV 스위치를 CLOSE로 설정하여 RV를 닫습니다.

❻MV 스위치를 OPEN으로 설정하여 메인 밸브를 열고, TMP2에 의한 배기를 시작합니다.

비고
RP1: 로터리 펌프 1
BV1: 백 밸브 1
TMP1: 터보 분자 펌프 1
RP2: 로터리 펌프 2
BV2: 백 밸브 2
TMP2: 터보 분자 펌프 2
RV: 로터리 펌프
MV: 메인 밸브

푸시 스위치(오목, 점등) 및 토글 스위치(위)는 ON 또는 OPEN을 의미합니다.
푸시 스위치(볼록, 소등) 및 토글 스위치(아래)는 OFF 또는 CLOSE를 의미합니다.

−장치 정지 방법−

메인 챔버 배기 시스템 정지

❶질량분석기의 필라멘트 및 SEM을 TDS 측정 소프트 또는 필라멘트 매니저로 OFF로 설정한 후, 전원 스위치를 OFF로 합니다.

❷진공계의 IG1을 OFF로 설정한 후 전원을 차단합니다.

❸TMP1 컨트롤러의 STOP 스위치를 눌러 TMP1을 정지시킵니다.

❹BV1의 CLOSE 스위치를 눌러 백 밸브를 닫습니다.

❺TMP1이 정지할 때까지 약 30분간 기다립니다.
뷰포트에서 날개의 정지를 확인하십시오.

❻RP1의 OFF 스위치를 눌러 RP1을 정지시킵니다.

❼RP1의 벤트 밸브를 열어 RP1의 흡기 측을 질소로 벤트합니다.
유량계 플로트가 내려가면 RP1의 벤트 밸브를 닫습니다.

메인 챔버의 대기 개방

❶표준 가스·질소 전환 밸브(검은 손잡이)의 뾰족한 부분을 아래쪽(질소 라인 쪽)으로 향하게 합니다.

❷ 메인 챔버 벤트 밸브를 열고 질소를 배출합니다.
질소 가스가 메인 챔버 내부로 유입되면 질소 가스 유량계의 플로트가 움직입니다.

❸질소 가스 유량계 플로트가 내려가면 메인 챔버 벤트 밸브를 닫습니다.

❹ 질소 퍼지 밸브를 닫아 TMP1로의 퍼지용 질소 공급을 중단합니다.

메인 챔버 배기 시스템 정지

❶AUTO/MANUAL 스위치를 MANUAL로 설정합니다.

❷MV 스위치를 OPEN으로 설정하여 메인 밸브를 열고, TMP2에 의한 배기를 시작합니다.

❸VV 스위치를 OPEN으로 하여 록 챔버를 질소 벤트합니다.
질소 가스가 로드 록 챔버 내로 유입되면 질소 가스 유량계의 플로트가 움직입니다.

❹VV 스위치를 CLOSE로 설정하여 VV를 닫습니다.

❺TMP2 컨트롤러의 STOP 스위치를 눌러 TMP2가 정지할 때까지 약 10분간 기다립니다.

❻RP2의 OFF 스위치를 눌러 RP2를 정지시킵니다.
자동으로 TMP2 컨트롤러로의 전원 공급이 OFF되며, 액정 화면에 warning이 표시됩니다.
※터보 분자 펌프 컨트롤러의 액정 화면은 전원 공급을 OFF해도 회전 정지 후 10분 정도는 표시를 계속합니다.

❼ RP2 벤트 밸브를 열어 RP2의 흡기 측을 질소로 벤트합니다.
질소 가스 유량계의 플로트가 내려가면 RP2 벤트 밸브를 닫습니다.

장치 정지

❶ 장치 후면에 있는 차단기를 OFF로 합니다.

비고

RP1: 로터리 펌프 1
BV1: 백 밸브 1
TMP1: 터보 분자 펌프 1
RP2: 로터리 펌프 2
BV2: 백 밸브 2
TMP2: 터보 분자 펌프 2
RV: 로터리 펌프
MV: 메인 밸브

푸시 스위치(오목, 점등)나 토글 스위치(위)는 ON이나 OPEN을 의미합니다.
푸시 스위치(볼록, 소등)나 토글 스위치(아래)는 OFF나 CLOSE를 의미합니다.