로드 록 챔버의 진공도가 상승하지 않습니다.
시료 교환 창을 손으로 눌러 진공도가 변화한다면, 시료 교환 창의 O링에 이물질이 부착되었을 가능성이 있습니다.
O링 위의 이물질을 제거해 주십시오.
시료에서 이탈이 많은 경우에도 진공도가 상승하지 않습니다.

로드록 진공계가 표시되지 않습니다.
로드록 챔버 내 N2 양이 적어 진공계의 방전이 일어나기 어려운 상태입니다.
아래 절차를 실행하십시오.
1. [AUTO/MANU] 전환 스위치를 MANU로 설정합니다.
2. [MV] 스위치를 CLOSE로 설정합니다.
3. [VV] 스위치를 OPEN으로 설정한 후 5초 경과 시 CLOSE로 전환합니다.
4. [RV] 스위치를 OPEN으로 설정합니다.
5. 피라니 진공 스위치 후면의 적색 LED가 점등되면 [RV] 스위치를 CLOSE로 전환합니다.
6. 페닝 진공계 컨트롤러의 [HV] 스위치를 누릅니다.
7. 진공 표시가 나오면 [MV]를 OPEN으로 설정합니다.
8. [AUTO RESET] 스위치를 누르고 [AUTO/MANU] 스위치를 AUTO로 설정합니다.

이후 일반적인 시동 절차를 수행합니다.

AUTO 램프가 점등되지 않습니다.
다음 절차를 수행하십시오.
1.[AUTO/MANU] 전환 스위치를 MANU로 설정합니다.
2.[MV] 스위치를 CLOSE로 설정합니다.
3.[RV] 스위치를 OPEN으로 설정합니다.
4. 피라니 진공 스위치 뒷면의 빨간색 LED가 점등되면, [RV] 스위치를 CLOSE로 설정합니다.
5. [RV] 스위치를 CLOSE로 설정합니다.
6. 진공 표시가 나타나면 [MV]를 OPEN으로 설정합니다.
7. [AUTO RESET] 스위치를 누른 상태에서 [AUTO/MANU] 스위치를 AUTO로 설정합니다.

이후에는 일반적인 절차대로 사용하십시오.

MV 램프가 점등되지 않습니다.
아래 절차를 수행하십시오.
1.[AUTO/MANU] 전환 스위치를 MANU로 설정합니다.
2.[MV] 스위치를 CLOSE로 설정합니다.
3.[RV] 스위치를 OPEN으로 설정합니다.
4. 피라니 진공 스위치 뒷면의 빨간색 LED가 점등되면, [RV] 스위치를 CLOSE로 설정합니다.
5. [RV] 스위치를 CLOSE로 설정합니다.
6. 진공 표시가 나타나면 [MV]를 OPEN으로 설정합니다.
7.[AUTO RESET] 스위치를 누른 후 [AUTO/MANU] 스위치를 AUTO로 설정합니다.

이후에는 일반적인 절차대로 사용하십시오.

TDS 메인 챔버에 시료가 낙하했습니다
아웃가스가 없는 시료(예: 고온까지 가열된 시료 등)라면, 오버홀 시 수거해 주십시오. 측정에 영향은 없습니다.
시료 낙하 후 진공도가 낮아지거나 스테이지 베이킹 시 이상 신호가 발생할 경우, 즉시 낙하 시료를 제거해 주십시오.

TDS 메인 챔버의 진공도가 상승하지 않습니다.
진공계 청소를 위해 디가스를 30초 정도 수행하십시오.
회복되지 않을 경우 챔버 베이킹 또는 청소가 필요합니다.

분체 샘플이 퍼지 시 비산되었습니다.
로드록 챔버의 분해 청소가 필요합니다. 방치할 경우 분체가 밸브류에 부착되어 누출의 원인이 될 수 있습니다.
WA1000S, WA1000S/W에는 분체 샘플용 퍼지 라인을 증설할 수 있습니다.
또는 퍼지 라인을 퍼지 밸브→니들 밸브 순서로 연결하고, 니들 밸브로 퍼지 유량을 조절함으로써 비산 없이 퍼지할 수 있습니다.

적외선 컨트롤러의 전원이 켜지지 않습니다.
냉각수의 수압 또는 유량이 부족할 수 있으므로 확인하십시오.
퓨즈가 끊어졌을 수 있습니다. 이 경우 퓨즈(15A)와 적외선 램프를 교체해야 합니다.

도달 진공도는 양호한데 진공이 제대로 걸리지 않습니다.
로터리 펌프의 성능이 저하되었을 가능성이 있습니다.
오일 교환 등을 실시해 주십시오.
오일 교환은 1년에 1회가 기준이지만, 탈리 가스의 종류나 양에 따라서는 빨리 열화될 수도 있습니다.

장치를 정지시켰는데 베이킹을 하는 것이 좋을까요?
12시간 이상의 베이킹을 권장합니다.
베이킹 시에는 Q-Mass를 OFF(전원 끄기) 상태로 하므로, 베이킹 후 Q-Mass의 필라멘트를 점등시킨 후에는 3시간 이상 경과한 후에 측정을 진행해 주십시오.