장치 본체 기동

❶ 전원 차단기 ON
장치 후면 하단 패널의 전원 차단기를 ON으로 합니다.

❷ 스타트업
터치 패널의 「Start Up」 버튼을 누릅니다.
각종 센서의 반응을 10초간 기다린 후, 이상이 없으면 「시작·정지」 페이지로 전환됩니다.

❸기동
터치 패널의 「기동」 버튼을 3초간 누릅니다.
장치 내부의 PLC(Programmable Logic Controller)에 의해 기동 시퀀스가 시작되며, 각 진공 펌프 및 각 밸브가 자동 제어 방식으로 작동합니다.
메인 챔버의 메시지가 「정상 운전」으로 표시되면 메인 챔버의 기동이 완료된 것입니다.
로드 록의 메시지가 「정상 운전」으로 표시되면 로드 록 챔버의 기동이 완료된 것입니다.

주의	기동 조작을 수행하기 전에 반드시 전원·질소 가스·압축 공기의 공급을 확인하십시오.

장치 본체 정지

❶QMS 필라멘트 OFF
TDS 측정 소프트웨어 또는 필라멘트 매니저에서 QMS의 필라멘트를 OFF, SEM을 OFF로 설정합니다.

❷정지
터치 패널의 기동·정지 탭에서 「정지」 버튼을 3초간 누릅니다.
장치 내부의 PLC(Programmable Logic Controller)에 의해 정지 시퀀스가 시작되며, 각 진공 펌프 및 각 밸브가 자동 제어됩니다.
메인 챔버의 메시지가 「정지」로 표시되면 메인 챔버의 정지가 완료된 것입니다.
로드 록의 메시지가 「정지」로 표시되면 로드 록 챔버의 정지가 완료된 것입니다.

노트	TMP1의 완전 정지에는 20분 이상이 소요됩니다.
	정지 시퀀스가 시작되면 QMS의 전원이 꺼집니다.

❸ 전원 차단기 OFF
장치로의 전원을 차단할 경우, 후면 하단 패널의 전원 차단기를 OFF로 설정합니다.
전원 차단기를 OFF로 설정하면 터치 패널 및 PLC의 전원도 차단됩니다.