−베이킹−

단열 재킷 장착

❶질량 분석기(QMS)의 SEM 및 필라멘트를 소프트웨어로 OFF로 설정합니다.

❷QMS의 전원 스위치를 눌러 QMS의 전원을 OFF로 합니다.

❸ QMS 컨트롤러에 연결된 전원 케이블과 통신 케이블을 분리합니다.

❹ 육각 렌치를 사용하여 장착 나사를 풀고 QMS 컨트롤러를 분리합니다.

❺ 온도 센서의 장착 상태를 확인합니다.

❻ 각 뷰잉 포트에 보호 커버를 장착합니다.

❼상부 열전대 도입 단자 커넥터를 분리합니다.

❽ 단열 재킷을 장착합니다.
단열 재킷은 메인 챔버부와 샘플 이송 기구부 두 가지가 있습니다.
메인 챔버부 단열 재킷은 장치 앞쪽에서 덮어씌우듯이 장착하고, 뒤쪽과 상부의 벨크로 테이프로 고정합니다.
후면은 메인 챔버 진공계 센서(IG)나 터보 분자 펌프가 배치되어 있어 여유 공간이 적으므로 주의하여 장착하십시오.

베이킹 컨트롤러 설정

❶ 베이킹 시간을 베이킹 타이머로 설정합니다.

❷ 베이킹 컨트롤러 전원 차단기를 ON으로 합니다.

❸ 리셋 시작 스위치를 누릅니다.
리셋 시작 스위치를 누르면 램프가 점등되고, 베이킹용 온도 조절기와 베이킹 타이머에 전원이 공급되며, 과열 표시 램프가 리셋됩니다.

이상의 조작으로 베이킹이 시작되어 온도 조절기의 설정 온도까지 가열됩니다.
타이머의 설정 시간에 도달하면 히터로의 출력이 차단됩니다.

베이킹용 온도 조절기 조작

❶온도 표시 전환 키를 눌러 메인 챔버의 현재 온도와 설정 온도 표시를 전환합니다.

❷ 설정 온도 표시 상태에서 설정 키(올림)(내림)을 눌러 설정을 변경합니다.

❸ 온도 표시 전환 키로 설정을 확정하고 현재 온도를 표시합니다.

베이킹 후 처리

❶실온 근처까지 온도가 내려갈 때까지 기다린 후, 베이킹 컨트롤러 전원 차단기를 OFF로 합니다.

❷ 단열 재킷을 제거하고 QMS 컨트롤러를 장착하여 배선한 후 각 부품을 원래 위치로 되돌립니다.

로터리 펌프 오일 교환 절차

❶ 매뉴얼에 따라 장치를 정지합니다.

❷ 로터리 펌프(RP) 본체가 냉각되었는지 확인합니다.

❸RP 고정용(4곳) 너트, 퀵 클램프, 메탈 커넥터, 온도 퓨즈를 제거하고 RP를 케이스에서 내립니다.

❹오일 주입구를 엽니다.

❺오일이 넘치지 않도록 오일 드레인을 처리하고 드레인을 엽니다. 오일이 한꺼번에 쏟아져 나오므로 주의하십시오.

❻오일이 완전히 빠지면 오일 드레인을 닫습니다.

❼ 오일 주입구를 통해 규정량의 오일을 넣습니다.

❽ 오일 주입구를 닫고, 역순으로 조립합니다.

주의사항

●사용한 오일에는 독성이 강한 물질이 섞여 있을 수 있으므로, 교체 시에는 보호 안경과 내유성·내약성 장갑을 착용하십시오.
●RP를 내릴 때 오일이 주변에 흩어지지 않도록 바닥에는 보호 시트를 깔아 주십시오.
●RP 정지 직후에는 오일이 뜨거울 수 있어 화상 위험이 있습니다.
●오일 폐기는 적절한 처리를 해 주십시오.
●당사 공급 오일 또는 제조사 순정 오일 이외는 절대 사용하지 마십시오.
●중량물이므로 낙하에 주의하여 작업하십시오.
●교환에 숙련된 분이 교체 작업을 수행하십시오.

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