승화하기 쉬운 금속(증기압이 높은 금속)을 포함하는 샘플.
금속을 다량으로 승화시키면 QMS 분석관이나 진공계, 뷰포트에 증착되어 성능 저하나 고장의 우려가 있습니다.

또한 챔버 내벽이나 부품에도 증착되므로 챔버 표면의 청정도(清浄度)가 저하되고 탈가스(脱ガス)가 많아집니다.
이 경우에는 챔버 내벽의 클리닝이나 부품 교체가 필요합니다.
증기압이 높은 Zn이나 Mg는 저온에서 승화하므로 특히 주의가 필요합니다.

증기압이 높은 금속의 예 (Zn, Mg, Pb, In, Mn, Ga, Ag, Sn, Al, Cu 등)
할로겐을 포함하는 샘플.
할로겐(특히 불소)을 포함하는 성분이 탈리되면, 할로겐이 메인 챔버 내부나 검출기 내부에 잔류하게 됩니다.
유기 화합물을 포함한 샘플. 다량의 유기 화합물을 분해 온도 이상으로 가열하면 열분해를 일으켜 분해 성분이 비산하여 메인 챔버 내부나 검출기를 오염시킵니다.
메인 챔버의 베이킹이나 클리닝, 부품 교체가 필요하게 됩니다.
다량의 가스를 방출하는 시료
장치를 오염시키지 않는 성분이라 하더라도 터보 분자 펌프나 QMS의 허용 압력을 초과하는 양의 가스를 방출하는 시료의 측정은 터보 분자 펌프나 QMS의 고장 원인이 됩니다.


오염 가능성이 있는 시료를 측정할 경우 사전 측정을 수행할 것을 권장합니다.
・상승 속도를 늦춘다. (분당 10℃ 정도)
・Bar 모드나 Scan 모드로 설정한다.
・시료량을 극히 적게 한다.
・위와 같은 성분이 검출된 경우, 그 이상으로 온도를 올리지 않는다.