高频加热型升温脱附分析仪 ESCO-TDS1700 IH

特点
高频加热型升温脱附分析装置ESCO-TDS1700 IH，是一种在超真空环境（10^-7Pa以下）中，通过电磁感应加热对样品进行程序升温，并利用四极杆质谱仪（QMS）实时观测脱附分子的分析装置。
由于处于超高真空环境，可在抑制次级反应^※1影响的理想状态下，对脱附成分进行高灵敏度观测。
可对钢铁等金属材料进行高效加热，并能进行超过1700℃的测量。
还可对作为钢铁材料氢脆（延迟断裂）因子的钢中扩散性氢进行低温TDS测量。
设备本体的控制由PLC（可编程逻辑控制器）自动完成，并采用触摸屏作为人机界面。

※1＝指测量过程中受热样品与大气成分发生的反应，或从样品中逸出的成分与大气成分发生的反应。

【参考文献】
●北原学, et al. 在腐蚀环境下施加应力后高强度钢板的腐蚀速率及扩散氢的评估.Zairyo-to-Kankyo, 2018, 67.4: 172-178.
●HANADA, Chihiro, et al. Suppression of bubble formation in levitated molten samples of Ti6Al4V with TiC for Hetero-3D at the International Space Station (ISS). International Journal of Microgravity Science and Application, 2023, 40.3: 400301.

配备负载锁定室
负载锁定室对于提高测量效率（高通量）和灵敏度而言必不可少。本公司的负载锁定室和样品输送机构能够仅将样品快速导入超高真空的分析室中。
如果没有进样锁定室，每次更换样品时都必须将分析室与大气连通。一旦与大气连通，分析室内就会吸附大量的大气成分（特别是水分），需要很长时间才能充分排空。

钢中扩散性氢的低温TDS测量
由于能够对冷却后的钢试样进行测量，因此可以高精度地定量测定扩散性氢，而不会让扩散系数较大的BCC钢中的扩散性氢逸散。
冷却后的钢试样表面会附着霜层，霜层的脱落会影响氢信号，从而导致扩散性氢含量测量的误差（不确定度增大）。ESCO-TDS1700 IH的冷阱（选配）通过捕获霜层，将霜层的影响降至最低，从而获得失真较小的扩散性氢脱落光谱。

脱附气体的定量
通过数据处理程序可以对脱附气体进行定量。要进行脱附气体的定量，需要定期校准质谱仪的灵敏度。
使用标准泄漏进行灵敏度校准时，需要准备与气体种类相同数量的昂贵标准泄漏源，校准工作耗时较长。此外，若使用有毒气体的标准泄漏源，安全卫生管理要求也会更加严格。
现行的定量程序相比基于标准泄漏源的校准法，能够更快速、简便且安全地进行脱附气体的定量分析。只需定期测量本公司生产的NIST可溯源氢气标准样品，即可获得高精度的结果。本公司开发的灵敏度校正法，不仅适用于氢气，还能对其他气体的灵敏度进行校正，经确认，其定量结果与基于产业技术综合研究所（AIST）国家标准的标准泄漏校准结果高度一致。

【参考文献】
●平下紀夫; 浦野真理; 吉田肇. 分析领域中的气体释放测量. Journal of the Vacuum Society of Japan, 2014, 57.6: 214-218.

技術解説／昇温脱離法
这是关于升温脱附法分析中所使用的脱附模型及活化能计算方法的参考资料。

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技术解说／定量分析（升温脱附分析仪中的定量）
本资料基于平下、内山在分析化学上的报告“N.Hirashita and T.Uchiyama, BUNSEKI KAGAKU, 43 , 757 (1994)”。
可以通过升温脱附分析仪测得的升温脱附谱图，对脱附气体进行定量分析。
当测量室的排气速率远大于由脱附气体引起的测量室压力变化时，脱附气体的分压变化与单位时间内的脱附量（脱附速率）成正比。
由于在质谱仪中离子电流与分压成正比，因此离子电流与脱附速率最终也呈正比关系，从而可通过离子电流的积分面积强度计算出总脱附量。
若使用注入了已知量H+的Si样品预先测定面积强度与脱附量的比例系数，则可针对各种样品，根据m/z2处的面积强度确定氢的脱附量。
此外，对于氢以外的分子，可通过氢与目标分子的电离难易度、碎裂因子、透过率等参数，计算出目标分子的比例系数。利用该比例系数，也可对氢以外的分子进行定量分析。

高频加热型升温脱附分析仪 IH-TDS1700［选配］

专用选件
便捷的液氮自动供给装置和辐射温度计专用选件。

耗材

标准样品	⇒氢离子注入 　标准样品
F去除剂	⇒F除去剤
加热商品	⇒氧化铝坩埚	⇒钨 支架	⇒支架底座	⇒石英管A（中）	⇒石英管A（长）

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