产品介绍／产品列表

• ESCO-TDS1200Ⅱ IR
  红外加热型升温脱附分析仪
  
  薄膜脱气评估的行业标准。
  
  在超高真空环境（10^-7Pa以下）中，对CVD膜或ALD膜进行红外加热，并利用四极杆质谱仪（QMS）对脱附分子进行高灵敏度的实时检测。 可高灵敏度地检测相当于单分子层（monolayer）的微量氢气和水。
  也可进行定量分析。
  
• NEW ESCO-TDS1200Ⅱ IR BGM
  配备带隙监测器的升温脱附分析装置
  
  实现硅温度的高精度测量。
  
  通过带隙监测器直接光学测定晶圆表面温度。
  即使在高速升温时也能保持高控制精度。
  最适合进行精密脱附温度评估的高端机型。
  
  
  
  
• ESCO-TDS1200Ⅱ IR PKG（TDS连接型）
  气密封装内气体分析仪
  
  支持TDS分析及气密封装的残留气体分析（RGA/IGA/IVA）。
  一款集气密封装残留气体分析（RGA/IGA/IVA）与薄膜材料TDS分析于一体的复合设备。可对影响激光二极管、石英器件、MEMS等可靠性封装内部的气体进行精密的定性与定量分析。可实现从前端到后端的一体化评估。
  
• NEW ESCO-TDS600 IR H2
  升温脱附氢分析仪
  
  质谱式升温脱附氢分析仪（氢脆评估模型）。
  在保持质谱式（真空型）定量性的同时，兼具与气相色谱法相当的操作便捷性。无需对样品进行真空输送，操作简便。
  从生产现场的质量管理到研发，提供强有力的支持。
  
• 开发中 ESCO-TDS-100 Cryo H2
  低温钢中扩散性氢分析装置
  
  支持从-100℃开始的低速升温（1℃/min）。
  能够分离检测被金属材料晶格缺陷（晶界、位错、空位等）捕获的氢。通过彻底的防结霜措施，为高精度的氢捕获位点分析提供强有力的支持。
  
  
• ESCO-TDS1700 IH
  高频加热型升温脱附分析仪
  
  可实现高达1700℃的超高温材料评估
  。
  配备高频感应加热（IH）功能，支持最高1700℃的超高温测量。最适合用于高熔点金属、陶瓷、碳等高温材料（耐热材料）的评估。
  
• 定制设备的开发与制造
  我们运用TDS积累的技术，承接各类定制设备的委托开发。虽然大部分项目因保密协议而无法公开，但在此介绍一个可以公开的开发案例。
  
  

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