故障处理処
路德洛克腔室的真空度无法提升。
如果用手按压样品更换窗后真空度发生变化，则可能是样品更换窗的O型圈上附着了杂质。
请清除O型圈上的杂质。
如果样品脱落严重，真空度也无法提升。
负载锁的真空表无显示。
负载锁腔室内的氮气量较少，导致真空表难以发生放电。
请执行以下步骤。
1. 将[AUTO/MANU]切换开关置于MANU档。
2. 将[MV]开关置于CLOSE档。
3. 将[VV]开关置于OPEN档，5秒后转至CLOSE档。
4. 将[RV]开关置于OPEN档。
5. 当皮拉尼真空开关背面的红色LED点亮时，将[RV]开关转至CLOSE档。
6. 按下彭宁真空计控制器的[HV]开关。
7. 出现真空读数后，将[MV]切换至OPEN。
8. 按下[AUTO RESET]开关，并将[AUTO/MANU]开关切换至AUTO。
之后按常规启动步骤进行操作。
AUTO指示灯不亮。
请按照以下步骤操作。
1. 将[AUTO/MANU]切换开关置于MANU档。
2. 将[MV]开关置于CLOSE档。
3. 将[RV]开关置于OPEN档。
4. 当皮拉尼真空开关背面的红色LED点亮时，将[RV]开关置于CLOSE档。
5. 将[RV]开关置于CLOSE档。
6. 出现真空显示后，将[MV]切换至OPEN。
7. 按下[AUTO RESET]开关，并将[AUTO/MANU]开关切换至AUTO。
之后请按常规步骤使用。
MV指示灯不亮。
请按照以下步骤操作。
1. 将[AUTO/MANU]切换开关置于MANU位置。
2. 将[MV]开关置于CLOSE位置。
3. 将[RV]开关置于OPEN位置。
4. 当皮拉尼真空开关背面的红色LED点亮时，将[RV]开关置于CLOSE位置。
5. 将[RV]开关置于CLOSE位置。
6.出现真空显示后，将[MV]切换至OPEN。
7.按下[AUTO RESET]开关，并将[AUTO/MANU]开关切换至AUTO。
之后请按常规步骤使用。
样品掉入TDS的主腔室中
如果是无挥发气体的样品（例如已升温至高温的样品等），请在检修时将其取出。这不会影响测量。
如果样品掉落后抽真空效果不佳，或在样品台烘烤时出现异常信号，请立即清除掉落的样品。
TDS主腔室的真空度无法提升。
请进行约30秒的排气操作，以清洁真空计。
如果仍无法恢复，则需要对腔室进行烘烤或清洁。
在吹扫过程中，粉体样品发生飞散。
需要对装载锁定室进行拆卸清洗。若置之不理，粉体可能会附着在各类阀门上，从而导致泄漏。
WA1000S、WA1000S/W 可增设粉体样品专用吹扫管路。
或者，将吹扫管路按“吹扫阀→针阀”的顺序连接，通过针阀调节吹扫流量，即可在不造成粉体飞散的情况下进行吹扫。
红外线控制器无法通电。
可能是冷却水的水压或流量不足，请进行确认。
可能是保险丝熔断。这种情况下，需要更换保险丝（15A）和红外线灯。
虽然最终真空度良好，但抽真空效果不佳。
可能是旋转泵的性能已下降。
请更换机油等。
机油更换的建议频率为每年一次，但根据脱附气体的种类和量，也可能导致机油提前劣化。
设备已停止运行，是否需要进行烘烤？
建议进行12小时以上的烘烤。
烘烤时，Q-Mass将处于关闭（断电）状态，因此烘烤结束后，请在Q-Mass的指示灯亮起3小时以上后再进行测量。
联系我们
如果您对产品有任何咨询或疑问，
欢迎通过以下咨询表单随时联系我们。
