含有易升华金属（蒸气压较高的金属）的样品。
若大量金属升华，可能会附着在QMS分析管、真空计和观察窗上，从而导致性能下降或故障。

此外，由于蒸气也会沉积在腔室内壁和部件上，导致腔室表面的洁净度下降，从而增加脱气量。
这种情况下，需要对腔室内壁进行清洁或更换部件。
蒸气压较高的锌（Zn）和镁（Mg）在低温下就会升华，因此需要特别注意。

蒸气压较高的金属示例（Zn, Mg, Pb, In, Mn, Ga, Ag, Sn, Al, Cuなど）
ハ包含罗根的样本。
当含有卤素（尤其是氟）的成分脱附时，卤素会滞留在主腔室或检测器内。
含有有机化合物的样品。
如果将大量有机化合物加热至其分解温度以上，会发生热分解，分解产物会飞散并污染主腔室和检测器。
此时需要对主腔室进行烘烤、清洁以及更换部件。
会释放大量气体的样品
即使样品所含成分不会污染设备，但若释放的气体量超过涡轮分子泵或QMS的允许压力，仍会导致涡轮分子泵或QMS发生故障。


在检测可能受污染的样品时，建议先进行预检测。
・降低升温速度。（约每分钟10℃）
・设置为Bar模式或Scan模式。
・尽量减少样品量。
・若检测到上述成分，则不再继续升温。