ESCO-TDS1200Ⅱ IR的维护
−烘烤−
安装隔热套
❶通过软件关闭质谱仪（QMS）的SEM及灯丝。
❷通过触摸屏关闭QMS的电源。
❸拔下连接至QMS控制器的电源线和通信线。
❹使用六角扳手拧松安装螺丝，拆下QMS控制器。
❺确认温度传感器的安装状态。
❻将保护盖安装到各观察口上。
❼拆下上部热电偶引入端子连接器。
隔热套❽安装隔热套。
隔热套分为主腔室部分和样品转移机构部分两部分。
主腔室部分的隔热套应从设备前侧覆盖安装，并用后侧和上部的魔术贴固定。
后侧安装有主腔室真空计传感器（IG）和涡轮分子泵，间隙较小，请谨慎安装。
烘烤设置
❶通过触摸屏设置烘烤时间或结束时间。
❷按下开始按钮启动。
❸完成上述操作后，烘烤开始，设备将加热至设定温度。
❹达到设定时间或设定日期时，加热器的供电将被切断。
烘烤后的处理
❶等待温度降至接近室温。
❷拆下隔热套，安装QMS控制器并接线，将各部件恢复原位。
旋转泵（RP）换油步骤
建议每年更换一次旋转泵的机油。
❶按照说明书停止设备运行。
❷确认RP本体已冷却。
❸拆下快速夹具和金属接头。
❹打开注油口。
❺处理好放油口以防漏油，然后打开放油口。请注意，油会猛烈喷出。
❻待油完全排尽后，关闭放油口。
❼通过机油加注口加入规定量的机油。
❽关闭机油加注口，按相反步骤进行组装。
注意事项
●由于使用过的机油中可能掺有剧毒物质，更换时请佩戴护目镜及耐油耐化学品手套。
●为防止拆卸RP时机油溅到周围，请在地面铺设防护垫。
●RP刚停止运转时，机油可能仍处于高温状态，存在烫伤风险。
●请对废弃机油进行妥善处理。
●请绝对不要使用本公司提供的机油或制造商原厂机油以外的机油。
●因属重物，作业时请注意防止坠落。
●请由熟悉更换操作的人员进行更换作业。
