TDS1200及EMD-WA1000S/W的维护
−烘焙−
隔热套的安装
❶通过软件关闭质谱仪（QMS）的SEM和灯丝。
❷按下QMS的电源开关，关闭QMS电源。
❸拔下连接至QMS控制器的电源线和通信线。
❹使用六角扳手拧松安装螺丝，拆下QMS控制器。
❺确认温度传感器的安装状态。
❻将保护盖安装到各观察口上。
❼拆下上部热电偶引入端子连接器。
隔热套❽安装隔热套。
隔热套分为主腔室部分和样品转移机构部分两部分。
主腔室部分的隔热套应从设备前侧覆盖安装，并用后侧和上部的魔术贴固定。
后侧安装有主腔室真空计传感器（IG）和涡轮分子泵，间隙较小，请小心安装。
烘烤控制器的设置
❶使用烘烤定时器设置烘烤时间。
❷将烘烤控制器电源开关拨至ON位置。
❸按下复位启动开关。
按下复位启动开关后，指示灯亮起，向烘焙用温度调节器和烘焙定时器供电，并复位过热指示灯。
完成上述操作后，烘烤过程即开始，设备将加热至温度调节器设定的温度。
当达到定时器设定的时间时，加热器的电源将被切断。
烘焙用温度调节器的操作
❶按下温度显示切换键，在主腔室的当前温度和设定温度显示之间进行切换。
❷在显示设定温度的状态下，按下设定键（上）（下）来更改设定值。
❸按温度显示切换键确认设定，并显示当前温度。
烘烤后的处理
❶等待温度降至接近室温，将烘烤控制器的电源断路器关闭。
❷拆下隔热套，安装QMS控制器并接线，将各部件恢复原位。
旋转泵换油步骤
❶按照说明书停止设备运行。
❷确认旋转泵（RP）本体已冷却。
❸拆下RP固定用（4处）螺母、快速夹具、金属连接器及温度保险丝，将RP从机箱上卸下。
❹打开注油口。
❺做好防溢油措施后，打开放油口。请注意，油液会瞬间喷出。
❻待油液完全排尽后，关闭放油口。
❼通过机油加注口加入规定量的机油。
❽关闭机油加注口，按相反步骤进行组装。
注意事项
●废机油中可能掺有剧毒物质，更换时请佩戴护目镜及耐油耐化学品手套。
●为防止下放RP时机油溅到周围，请在地面铺设防护垫。
●RP刚停止运转时，油温可能很高，有烫伤风险。
●请对废油进行妥善处理。
●除本公司提供的油品或制造商原厂油品外，严禁使用其他油品。
●因设备较重，作业时请注意防止坠落。
●请由熟悉更换操作的人员进行更换作业。
