기밀 밀봉 패키지 내 가스 분석 장치 ESCO-TDS1200II IR PKG (TDS 연계형)
ESCO-TDS1200II IR PKG(TDS 연계형)특징
본 장치는 ESCO-TDS1200II IR 본체에 연결된 IVA 기능을 갖추고 있습니다.
IVA* 기능을 통해 세라믹, 금속, 유리 등으로 밀봉된 미세 디바이스 내부의 수증기를 비롯한 각종 가스의 함유량을 측정할 수 있습니다.
주요 대상은 화합물 반도체, 레이저 다이오드, 수정 발진기, SAW 필터 등의 전자 디바이스 및 램프류입니다.
가스 검출부는 ESCO-TDS1200II IR과 공통된 유닛을 사용합니다.
예를 들어, 반도체 제조의 프런트엔드 공정에서 사용되는 박막 재료는 TDS 기능으로 평가하고, 백엔드 공정에서 패키징된 디바이스 내부의 가스는 IVA 기능으로 분석하는 일련의 공정에 대응할 수 있습니다.
IVA : Internal Vapor Analysis
