정량법에 대하여
이 자료는 히라시타·우치야마의 분석화학 논문 「N.Hirashita and T.Uchiyama, BUNSEKI KAGAKU, 43 , 757 (1994)」에 기초하고 있습니다.
가열 탈착 분석 장치로 측정한 가열 탈착 스펙트럼을 통해 탈착 가스의 정량이 가능합니다.
측정 챔버의 배기 속도가 탈착 가스로 인한 측정 챔버의 압력 변화에 비해 충분히 클 때, 탈착 가스 성분의 분압 변화는 단위 시간당 탈착량(탈착 속도)에 비례합니다.
질량 분석기에서는 이온 전류와 분압이 비례하므로, 결국 이온 전류와 탈리 속도가 비례하게 되며, 이온 전류를 적분한 면적 강도로부터 전체 탈리량을 계산할 수 있습니다.
알려진 양의 H+를 주입한 Si 시료를 사용하여 면적 강도와 탈리량의 비례 계수를 구해 두면, 다양한 시료에 대해 m/z²의 면적 강도로부터 수소의 탈리량을 결정할 수 있습니다.
또한 수소 이외의 분자에 대해서는, 수소와 대상 분자의 이온화 난이도, 단편화 인자, 투과율 등의 매개변수를 통해 비례 계수를 계산할 수 있습니다.
이 비례 계수를 사용하면 수소 이외의 분자도 정량할 수 있습니다.

