오버홀

장비를 도입해 주신 고객님께 유지보수 및 오버홀 서비스를 제공합니다.
아래 항목을 참조해 주십시오.

No.001　사전 조사

실시 시기	매년
표준 작업 시간	4.0시간
사용·교환 부품	점검용 샘플 일체
비고	장치의 현황 점검을 실시합니다.

No.002　적외선 램프 교체

실시 시기	매년
표준 작업 시간	0.5시간
사용·교체 부품	적외선 램프 [1]
비고	장치 사양에 따라 사용 부품이 다릅니다.

No.003　포어라인 트랩 엘리먼트 교환

실시 시기	매년
표준 작업 시간	0.5시간
사용·교환 부품	엘리먼트: 20-H026-00-050［1캔］
비고	장치 사양에 따라 사용 부품이 다릅니다.

No.004　로터리 펌프 오일 교환

실시 시기	6개월마다
표준 작업 시간	2.0시간
사용·교체 부품	로터리 펌프 오일
비고	장치 사양 및 제조사에 따라 사용 부품이 다릅니다.

No.005　가열 시료대 교체

실시 시기	매년
표준 작업 시간	2.0시간
사용·교체 부품	석영 스테이지, 열전대, ICF 개스킷
비고	장치 사양에 따라 사용 부품이 다릅니다.

No.006　가열 챔버 내부 청소

실시 시기	매년
표준 작업 시간	0.5시간
사용·교체 부품	ICF 개스킷

No.007 로드 록 챔버 내부 청소

실시 시기	2년마다
표준 작업 시간	3.0시간
사용·교환 부품	ICF 개스킷

No.008　시료 이송 기구 판 스프링 교환

실시 시기	2년마다
표준 작업 시간	1.0시간
사용·교체 부품	판 스프링, 개스킷

No.009 적외선 도입 기구부 연마

실시 시기	2년마다 (기구조의 오염 상황에 따라)
표준 작업 시간	1.0시간
사용·교체 부품	개스킷

No.010 TMP(2) 베어링 교환

실시 시기	3년마다
표준 작업 시간	3.0시간
사용·교체 부품	베어링, 개스킷
비고	장치 사양에 따라 사용 부품이 다릅니다.

No.011 오일 미스트 필터 교체

실시 시기	4년마다 (오염 상황에 따라 다름)
표준 작업 시간	0.5시간
사용·교체 부품	필터

No.012　게이트 밸브 교체

실시 시기	4년마다
표준 작업 시간	4.0시간
사용·교체 부품	게이트 밸브, 개스킷
비고	장치 사용 빈도에 따라 다릅니다.

No.013　로터리 펌프 교체

실시 시기	5년마다
표준 작업 시간	2.0시간
사용·교환 부품	로터리 펌프, 방진 고무

No.014　QMS 분해능・질량축 조정

실시 시기	매년
표준 작업 시간	2.0시간
사용·교체 부품	조정용 표준 가스

No.015　QMS 이온 소스 교환

실시 시기	2년마다 (오염 상황에 따라)
표준 작업 시간	2.0시간
사용·교체 부품	이온 소스, 개스킷

No.016　진공 가동・베이킹 세트

실시 시기	매년
표준 작업 시간	2.0시간

No.017　오버홀 후 성능 확인

실시 시기	매년
표준 작업 시간	5.0시간
사용·교환 부품	점검용 샘플 일체
비고	정비를 실시할 때는 반드시 수행합니다.

No.018　QMS 검량선용 측정

실시 시기	매월
표준 작업 시간	1.0시간
사용·교체 부품	이온 주입 웨이퍼
비고	베이킹을 1일 이상 실시한 후에 수행합니다.

No.019　QMS 특성 보정용 측정

실시 시기	매년
표준 작업 시간	3.0시간
사용·교환 부품	이온 주입 웨이퍼(각종)
비고	베이킹을 1일 이상 실시한 후에 진행합니다.

문의

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