TDS1200 및 EMD-WA1000S/W의 기동 및 정지
−장치 기동 방법−
장치 기동
❶사전 확인을 합니다.
・누전 차단기가 OFF 상태입니다.
・압축 공기가 공급되고 있습니다. (0.01~0.02 MPa)
・RP1 스위치가 OFF 상태입니다.
❷장치 후면에 있는 차단기를 ON으로 설정합니다.
❸장치 전면 패널에 있는 RESET 스위치를 누릅니다.
메인 챔버 배기 계통의 가동
❶사전 확인을 합니다.
・메인 챔버가 닫혀 있고, 기기가 올바르게 설치되어 있다.
・메인 챔버 벤트 밸브가 닫혀 있다.
・AUTO / MANUAL 스위치가 MANUAL로 설정되어 있다.
・MV, VV, RV, GV 스위치가 CLOSE로 설정되어 있다.
・RP1 스위치가 OFF로 설정되어 있다.
・RP1 벤트 밸브가 닫혀 있다.
・벤트용 질소 가스와 밸브 구동용 압축 공기가 공급되고 있다. (0.01~0.02 MPa)
・메인 챔버의 압력이 대기압 이상이다.
❷RP1의 ON 스위치를 눌러 RP1을 가동합니다.
❸BV1의 OPEN 스위치를 눌러 메인 챔버를 1차 진공 상태로 만듭니다.
배기 소리가 작아질 때까지 기다립니다. (약 1분)
❹TMP1 컨트롤러의 START 스위치를 눌러 TMP1을 기동합니다.
TMP1이 정상 작동할 때까지 기다립니다. (약 10분)
❺진공계의 ON 스위치를 눌러 전원을 켜고, IG1 스위치를 눌러 필라멘트를 점등시킵니다.
❻질소 퍼지 밸브를 열어 퍼지용 질소를 TMP1에 공급합니다.
❼메인 챔버의 압력이 1E-5 Pa 미만이 될 때까지 기다린 후, 질량 분석기의 전원을 켭니다.
로드 록 챔버 배기 시스템 가동
❶사전 확인을 합니다.
・시료 주입구가 닫혀 있고, 기기가 올바르게 설치되어 있다.
・AUTO / MANUAL 스위치가 MANUAL로 설정되어 있다.
・MV, VV, RV, GV 스위치가 CLOSE로 설정되어 있다.
・RP2 스위치가 OFF로 설정되어 있다.
・질소 가스(벤트용 가스)와 압축 공기(밸브 구동용)가 공급되고 있다.
・RP2 벤트 밸브 및 TMP2 벤트 밸브가 닫혀 있다.
❷RP2의 ON 스위치를 눌러 RP2를 기동하고 TMP2의 후면 배기를 시작합니다.
배기 소리가 작아질 때까지 기다립니다.
※BV2가 자동으로 열리고, TMP2 컨트롤러에 전원이 공급됩니다.
❸TMP2 컨트롤러의 START 스위치를 눌러 TMP2를 기동합니다.
정상 운전 상태가 될 때까지 기다립니다. (약 10분)
❹RV 스위치를 OPEN으로 설정하여, 초기 배기를 시작합니다.
로드 록의 초기 배기가 완료될 때까지 기다립니다. (약 5분)
❺RV 스위치를 CLOSE로 설정하여, RV를 닫습니다.
❻MV 스위치를 OPEN으로 설정하고, 메인 밸브를 열어 TMP2를 통한 배기를 시작합니다.
비고
RP1: 로터리 펌프 1
BV1: 백 밸브 1
TMP1: 터보 분자 펌프 1
RP2: 로터리 펌프 2
BV2: 백 밸브 2
TMP2: 터보 분자 펌프 2
RV: 로터리 펌프
MV: 메인 밸브
푸시 스위치(오목, 점등)나 토글 스위치(위)는 ON 또는 OPEN을 의미합니다.
푸시 스위치(볼록, 소등)나 토글 스위치(아래)는 OFF 또는 CLOSE를 의미합니다.
−장치 정지 방법−
메인 챔버 배기 계통 정지
❶질량 분석기의 필라멘트 및 SEM을 TDS 측정 소프트웨어 또는 필라멘트 매니저에서 OFF로 설정한 후, 전원 스위치를 OFF로 합니다.
❷진공계의 IG1을 OFF로 설정한 후, 전원을 끕니다.
❸TMP1 컨트롤러의 STOP 스위치를 눌러 TMP1을 정지시킵니다.
❹BV1의 CLOSE 스위치를 눌러 백 밸브를 닫습니다.
❺TMP1이 정지할 때까지 30분 정도 기다립니다.
뷰포트에서 날개의 정지를 확인해 주십시오.
❻RP1의 OFF 스위치를 눌러 RP1을 정지시킵니다.
❼RP1의 벤트 밸브를 열어 RP1의 흡기 측을 질소로 벤트합니다.
유량계 플로트가 내려가면 RP1의 벤트 밸브를 닫습니다.
메인 챔버의 대기 개방
❶표준 가스·질소 전환 밸브(검은색 손잡이)의 끝부분을 아래쪽(질소 라인 쪽)으로 향하게 합니다.
❷메인 챔버 벤트 밸브를 열고, 질소를 배출합니다.
질소 가스가 메인 챔버 내부로 유입되면 질소 가스 유량계의 플로트가 움직입니다.
❸질소 가스 유량계의 플로트가 내려가면 메인 챔버 벤트 밸브를 닫습니다.
❹질소 퍼지 밸브를 닫아 TMP1으로의 퍼지용 질소 공급을 중단합니다.
메인 챔버 배기 계통 정지
❶AUTO/MANUAL 스위치를 MANUAL로 설정합니다.
❷MV 스위치를 OPEN으로 설정하여 메인 밸브를 열고, TMP2를 통한 배기를 시작합니다.
❸VV 스위치를 OPEN으로 설정하여 락 챔버를 질소로 벤트합니다.
질소 가스가 로드 락 챔버 내부로 유입되면 질소 가스 유량계의 플로트가 움직입니다.
❹VV 스위치를 CLOSE로 설정하여 VV를 닫습니다.
❺TMP2 컨트롤러의 STOP 스위치를 눌러 TMP2가 정지할 때까지 약 10분간 기다립니다.
❻RP2의 OFF 스위치를 눌러 RP2를 정지시킵니다.
자동으로 TMP2 컨트롤러로의 전원 공급이 OFF되며, 액정 화면에 warning이 표시됩니다.
※터보 분자 펌프 컨트롤러의 액정 화면은 전원 공급을 OFF로 해도 회전 정지 후 10분 정도는 표시가 계속됩니다.
❼RP2 벤트 밸브를 열어 RP2의 흡기 측을 질소로 벤트합니다.
질소 가스 유량계의 플로트가 내려가면 RP2 벤트 밸브를 닫습니다.
장치 정지
❶장치 후면에 있는 차단기를 OFF로 설정합니다.
비고
RP1: 로터리 펌프 1
BV1: 백 밸브 1
TMP1: 터보 분자 펌프 1
RP2: 로터리 펌프 2
BV2: 백 밸브 2
TMP2: 터보 분자 펌프 2
RV: 로터리 펌프
MV: 메인 밸브
푸시 스위치(오목, 점등)나 토글 스위치(위)는 ON 또는 OPEN을 의미합니다.
푸시 스위치(볼록, 소등)나 토글 스위치(아래)는 OFF 또는 CLOSE를 의미합니다.
